[实用新型]夹具及渗氮装置

权利要求书

1.一种夹具，其特征在于，包括轴承套和端盖，所述轴承套设置有环形的容置槽和与所述容置槽连通的第一流通孔，所述端盖设置有第二流通孔，所述端盖盖合于所述轴承套的一端且所述轴承套与所述端盖之间形成用于嵌设外圈的嵌设空间，当所述外圈设置于所述嵌设空间内时，所述第一流通孔、所述外圈的部分内壁和所述第二流通孔依次连通。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述外圈的一端设置有环形的第一凸起，所述第一凸起相对于所述外圈的一端表面凸出，所述第一凸起的内部形成环形孔，所述外圈靠近所述第一凸起的一端的内壁直径为a，所述环形孔的直径为b，b＞a；

所述轴承套包括底壁、侧壁和环形的第二凸起，所述侧壁呈环形，所述底壁与所述侧壁连接，所述第二凸起与所述底壁靠近所述容置槽的一侧连接，所述第一流通孔开设于所述底壁且位于所述第二凸起的内部，所述第二凸起与所述侧壁之间形成用于卡设所述第一凸起的卡设空间。

3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述第二凸起相对于所述底壁凸出的高度为c，所述第一凸起相对于所述外圈一端凸出的高度为d，c＝d，且当所述外圈嵌设于所述嵌设空间内时，所述第二凸起远离所述底壁的一端与所述外圈对应所述环形孔的端部密封抵接。

4.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述第二凸起对应的所述第一流通孔的直径为e，e＝a。

5.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述底壁远离所述容置槽的一侧设置有与所述第一流通孔连通的第一引导孔，所述第一引导孔的直径在所述底壁靠近所述容置槽的一侧到所述底壁远离所述容置槽的一侧的方向上逐渐增大。

6.根据权利要求2-5任一项所述的夹具，其特征在于，所述外圈远离所述第一凸起的一端设置有与所述外圈的内部连通的环形凹槽，所述端盖包括顶壁和环形的第三凸起，所述第三凸起与所述顶壁的一侧连接，所述第二流通孔开设于所述顶壁且位于所述第三凸起的内部，所述第三凸起用于封闭所述环形凹槽。

7.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述第三凸起相对于所述顶壁凸出的高度为f，所述环形凹槽的底面到所述外圈远离所述第一凸起的一端端面之间的距离为g，g＝f。

8.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述顶壁远离所述第三凸起的一侧设置有第二引导孔，所述第二引导孔的直径在所述顶壁靠近所述第三凸起的一侧到所述顶壁远离所述第三凸起的一侧的方向上逐渐增大。

9.一种渗氮装置，其特征在于，包括底盘和权利要求1-8任一项所述的夹具，所述底盘设置有多个放置孔，所述夹具放置于所述底盘上且所述放置孔与所述第一流通孔连通。

10.根据权利要求9所述的渗氮装置，其特征在于，所述底盘呈圆形，所述底盘的中心设置有支撑柱，在所述底盘的中心到所述底盘的边沿方向上，所述底盘上分布有多组放置孔，每组所述放置孔包括多个沿所述底盘的周向均匀分布的所述放置孔。