[实用新型]检测设备

说明书

本实用新型公开了一种检测设备，涉及待检测件检测领域，用以便捷地实现对待检测件的人工检测。该检测设备包括姿态调整装置和夹持装置。夹持装置用于夹持待检测件。姿态调整装置被构造为能够调整夹持装置的姿态；夹持装置通过第一驱动机构可翻转地设于姿态调整装置。上述技术方案，设置了用于调整待检测件姿态的姿态调整装置，且夹持装置与姿态调整装置通过第一驱动机构实现驱动连接，齿轮驱动机构传力稳定、可靠、便于检测和控制。

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测领域，具体涉及一种检测设备。

背景技术

现代半导体芯片均是以晶圆为基底，上面经过多道复杂工艺加工而成。为了加快半导体芯片生产速度、降低单片芯片成本，每个晶圆上将生产多个芯片，生产完成后进行切割分离，形成一片片有独立功能的芯片。在切割分离前，需要对整片晶圆进行人眼及显微观测，确认该芯片上没有污染、划痕等缺陷，以便分割过程剔除不合格芯片，提高产品合格率。为了确保此观察过程不带来附加污染，且能高效、快速完成整片芯片检测，进行合理的仪器设计至关重要。

现有半导体公司采用直接取出人眼观察再放到显微镜下观察的方式实现人眼及显微观测。

发明人发现，现有技术中的检测方式无论灯光、加持移动芯片、记录缺陷位置等均不利于观察，且涉及流水线的多个工位，占用空间大，产生附加污染的可能性较大。采用人工取出晶圆的方式，容易污染晶圆。

实用新型内容

本实用新型提出一种检测设备，用以便捷地实现对待检测件的人工检测。

本实用新型提供了一种检测设备，包括：

夹持装置，用于夹持待检测件；

姿态调整装置，包括第一驱动机构，所述姿态调整装置被构造为用于调整所述夹持装置的姿态；所述夹持装置通过所述第一驱动机构可翻转地设于所述姿态调整装置；以及

支撑部件，被设置为驱动所述姿态调整装置沿着第一方向和第二方向相对于所述支撑部件移动；其中，所述第一方向和所述第二方向不平行。

在一些实施例中，所述第一方向和所述第二方向垂直。

在一些实施例中，所述支撑部件包括：

第一滑板，所述姿态调整装置沿着所述第一方向可滑移地设于所述第一滑板；以及

第二滑板，所述第一滑板沿着所述第二方向可滑移地设于所述第二滑板。

在一些实施例中，所述第一驱动机构包括：

第一电机，安装于所述姿态调整装置；

第一斜齿轮，与所述第一电机驱动连接；以及

第二斜齿轮，与所述第一斜齿轮啮合，且与所述夹持装置连接。

在一些实施例中，所述第一斜齿轮的轴线和所述第二斜齿轮的轴线垂直；所述第二斜齿轮的轴线与所述夹持装置的翻转轴重合。

在一些实施例中，所述姿态调整装置包括：

摆动支撑，用于使所述夹持装置绕着第一轴摆动；以及

第一回转支撑，绕第二轴可回转地设于所述摆动支撑，所述夹持装置绕翻转轴可翻转地设于所述第一回转支撑；

其中，所述第二轴与所述第一轴不平行，所述第二轴与所述翻转轴也不平行。

在一些实施例中，所述姿态调整装置还包括：

基座

第二回转支撑，绕第三轴可回转地设于所述基座，所述摆动支撑绕第一轴可摆动地设于所述第二回转支撑。