[实用新型]用于在多个板件的化学处理工艺中保持板件的篮装置有效

专利信息
申请号: 201821418224.4 申请日: 2018-08-30
公开(公告)号: CN208753283U 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 周钢;邓燕春;柯昌旭 申请(专利权)人: 奥特斯科技(重庆)有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H05K3/00
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 王晖;李丙林
地址: 401133 重*** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 板件 支撑框架结构 化学处理工艺 防护板 支撑槽 平行 竖向平面 竖向支撑 装置提供 承载件 支撑
【权利要求书】:

1.一种用于在多个板件(110)的化学处理工艺中保持所述板件(110)的篮装置(100),其特征在于,所述篮装置(100)包括:

支撑框架结构(107),所述支撑框架结构包括具有多个支撑槽(102)的至少一个底部承载件,所述多个支撑槽沿第一方向(103)一个接一个地布置,

其中,每个槽(102)被形成为用于将相应的板件(110)保持在竖向平面内,

其中,所述槽(102)相对于彼此形成为使得所述板件(110)被平行地支撑且彼此间隔开,

防护板(105),所述防护板在所述支撑框架结构(107)的一边缘部分处安装到所述支撑框架结构(107)并且与所述竖向平面平行。

2.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,

所述防护板(105)在所述竖向平面内的表面小于所述板件(110)在所述竖向平面内的表面。

3.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,

所述防护板(105)的底部边缘在竖向方向(104)上与所述底部承载件间隔开110mm至160mm。

4.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,

所述防护板(105)在竖向方向(104)上具有330mm至400mm的高度,并且所述防护板具有550mm至560mm的长度。

5.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,

所述防护板(105)沿所述第一方向(103)与第一个槽(102)间隔开至少28mm。

6.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,所述篮装置(100)还包括:

另外的防护板(106),所述另外的防护板在所述支撑框架结构(107)的另外的边缘部分处安装到所述支撑框架结构(107)并且与所述竖向平面平行,

其中,所述边缘部分和所述另外的边缘部分相对于所述第一方向(103)形成相反的边缘部分。

7.根据权利要求6所述的篮装置(100),其特征在于,

所述另外的防护板(106)沿所述第一方向(103)与最后的槽(102)间隔开至少60mm。

8.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,

所述槽(102)沿所述第一方向(103)间隔开20mm。

9.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,

至少一个槽(102)具有经斜切的侧壁,使得底部槽尺寸小于顶部槽尺寸,形成所述槽的开口。

10.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,

至少一个槽(102)在竖向方向(104)具有21mm的高度。

11.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,

所述支撑框架结构(107)包括四个底部承载件,所述四个底部承载件沿所述第一方向(103)相对于彼此平行地延伸且彼此间隔开。

12.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,

所述支撑框架结构(107)还包括耦接区段(111),所述耦接区段被配置为耦接到用于运输所述篮装置(100)的运输装置。

13.根据权利要求1所述的篮装置(100),其特征在于,

所述支撑框架结构(107)还包括至少一个侧面承载件(108),所述至少一个侧面承载件沿竖向方向(104)与所述底部承载件间隔开并且具有沿第一方向(103)一个接一个地布置的多个支撑侧面槽(102),

其中,每个支撑侧面槽(102)被形成为用于将相应的板件(110)保持在所述竖向平面内,

其中,所述支撑侧面槽(102)相对于彼此形成为使得所述板件(110)被平行地支撑且彼此间隔开。

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