[实用新型]一种用于细胞表面区域ATP检测的敏感微电极

权利要求书

1.一种用于细胞表面区域ATP检测的敏感微电极，其特征在于：包括绝缘层(1)、第一导电层(2)和开孔层(3)；所述的第一导电层(2)设置于绝缘层(1)上表面，第一导电层(2)中包含一组或多组电极(21)、信号线(22)和焊盘(23)，电极(21)通过信号线(22)与焊盘(23)相连；所述的开孔层(3)覆盖于第一导电层(2)的上方，且在所述的电极(21)上方位置开设有通孔(31)，所述通孔(31)的孔壁与下方的电极(21)上表面构成敞口的槽腔；所述槽腔内设有与下方电极(21)接触的第二导电层(4)，第二导电层(4)上表面与通孔(31)的孔壁共同围合成不透水的液体盛装凹槽，且第二导电层(4)的上表面分布有若干个百纳米级凹坑。

2.如权利要求1所述的敏感微电极，其特征在于：所述的百纳米级凹坑表面还分布有若干个十纳米级孔洞。

3.如权利要求1或2所述的敏感微电极，其特征在于：所述的百纳米级凹坑表面覆盖有修饰层(5)，所述修饰层(5)由催化金属纳米颗粒层和导电聚合物层组成，催化金属纳米颗粒层位于第二导电层(4)和导电聚合物层之间。

4.如权利要求3所述的敏感微电极，其特征在于：所述的催化金属纳米颗粒层材料为铂纳米颗粒或金纳米颗粒，所述导电聚合物层材料为聚邻苯二胺或聚苯胺。

5.如权利要求1所述的敏感微电极，其特征在于：所述的百纳米级凹坑可为半球形。

6.如权利要求1所述的敏感微电极，其特征在于：所述的第一导电层(2)中，电极(21)和焊盘(23)均有多个，且每个电极(21)均通过信号线(22)连接有焊盘(23)。

7.如权利要求6所述的敏感微电极，其特征在于：所述的焊盘(23)沿绝缘层(1)的边缘周向均匀分布，所述电极(21)分布于焊盘(23)构成的环形区域内。

8.如权利要求1所述的敏感微电极，其特征在于：所述的绝缘层(1)和第一导电层(2)分别为ITO导电玻璃中的基底层和ITO膜层，ITO膜层通过光刻形成电极(21)、信号线(22)和焊盘(23)。

9.如权利要求1所述的敏感微电极，其特征在于：所述的液体盛装凹槽的尺寸能够容纳一个或多个待检测的细胞。

10.如权利要求1所述的敏感微电极，其特征在于：所述的开孔层(3)不覆盖所述焊盘(23)。