[实用新型]一种削角磁钢的磁控溅射阴极

说明书

本实用新型公开了一种削角磁钢的磁控溅射阴极，包括主体及三道磁钢组件，所述主体的底部设置有第一支撑板，所述主体的顶部设置有上底板，所述主体的内部设置有三道磁钢组件，所述三道磁钢组件由第一削角磁钢、磁轭及第二削角磁钢组成；本实用新型结构简单，设置有第一削角磁钢和第二削角磁钢，这种磁钢结构会将相邻磁钢的临近尖端拉远，磁力线到达靶材表面时形状会是一个倒写的U字型，磁力线顶端越平整，即磁场的平行分量越多，靶材利用率越高，所以该专利磁钢结构可以有效提高靶材的利用率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜行业，具体是一种削角磁钢的磁控溅射阴极。

背景技术

随着社会发展，人们对产品的性能要求越来越高，因此应用而生镀膜技术，镀膜是现有社会经常用到的一种技术，镀膜实际上是在物质表面镀上非常薄的薄膜，使该物质具有耐磨、润滑、导电、光学、装饰等功能。镀膜最普遍的做法就是通过镀膜机镀膜，而使用较多的就是溅射类镀膜，在磁控溅射阴极产品中有一个很重要的指标：靶材利用率，即将一块靶材放到磁控阴极上，用过之后还剩下多少，剩下的越少，说明使用的越多，效果越好，也就是靶材利用率越高。

在授权公告号为“CN206736351U”的中国实用新型专利中，公开了一种高靶材利用率的矩形磁控溅射阴极，包括磁钢和磁轭，一个阴极包括七道磁钢，一个磁轭与七道磁钢连接等，该实用新型的设置有七道磁钢，传统的三道磁钢组件的磁场为“V”字形，而该实用新型会使得磁场转变为U字型，能够对靶面进行更大面积的刻蚀，从而提升了靶材的利用率；但是该实用新型具有以下问题：

1、采用七道磁钢，磁钢的成本会提高；

2、不适用于靶材比较窄的产品，因为没有空间放；

3、磁场调节麻烦，因为磁钢的磁场相互关联，调整任何一个都需要对其他的进行对应调节。

因此提出一种新的技术方案，来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种削角磁钢的磁控溅射阴极，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种削角磁钢的磁控溅射阴极，包括主体和三道磁钢组件，所述主体的底部设置有第一支撑板，所述主体的顶部设置有上底板，所述上底板的表面设置有第一螺栓，所述主体的内部设置有三道磁钢组件，所述三道磁钢组件由第一削角磁钢、磁轭及第二削角磁钢组成，两个第一削角磁钢远离第二削角磁钢的一侧设置有阳极，所述第一削角磁钢和第二削角磁钢上端于主体的内部设置有隔膜板，所述隔膜板上放置靶材，所述靶材通过第二螺栓固定，所述隔膜板的下方设置有冷却水道。

作为本实用新型进一步的方案：所述磁轭的竖直截面形状为长方形或者其他常规形状。

作为本实用新型进一步的方案：所述磁轭的顶部周边设有第一削角磁钢。

作为本实用新型进一步的方案：所述第一削角磁钢的竖直截面为顶部至少一个内角不等于90度的多边形，如梯形、三角形、菱形等与长方形的组合。

作为本实用新型进一步的方案：所述磁轭的顶部中间设置有第二削角磁钢。

作为本实用新型进一步的方案：所述第二削角磁钢的竖直截面为顶部至少一个内角不等于90度的多边形，如梯形、三角形、菱形等与长方形的组合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，有效提高靶材利用率；