[实用新型]一种削角磁钢的磁控溅射阴极有效
| 申请号： | 201821361534.7 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN208776831U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张奇龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 杭州朗为科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王新生 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市余杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁钢 削角 磁钢组件 磁力线 磁控溅射阴极 本实用新型 磁钢结构 靶材利用率 靶材表面 顶部设置 内部设置 平行分量 相邻磁钢 上底板 支撑板 靶材 磁轭 磁场 平整 | ||
【权利要求书】：
1.一种削角磁钢的磁控溅射阴极，包括主体(6)和三道磁钢组件(9)，其特征在于，所述主体(6)的底部设置有第一支撑板(5)，所述主体(6)的顶部设置有上底板(7)，所述上底板(7)的表面设置有第一螺栓(8)，所述主体(6)的内部设置有三道磁钢组件(9)，所述三道磁钢组件(9)由第一削角磁钢(2)、磁轭(3)及第二削角磁钢(4)组成，两个第一削角磁钢(2)远离第二削角磁钢(4)的一侧设置有阳极(11)，所述第一削角磁钢(2)和第二削角磁钢(4)上端于主体(6)的内部设置有隔膜板(14)，所述隔膜板(14)的下方设置有冷却水道(12)，所述冷却水道(12)的顶部两侧与隔膜板(14)的底部连接处设置有水路(13)。
2.根据权利要求1所述的削角磁钢的磁控溅射阴极，其特征在于，所述磁轭(3)的顶部周边设有第一削角磁钢(2)。
3.根据权利要求2所述的削角磁钢的磁控溅射阴极，其特征在于，所述第一削角磁钢(2)的竖直截面为顶部至少一个内角不等于90度的多边形。
4.根据权利要求3所述的削角磁钢的磁控溅射阴极，其特征在于，所述磁轭(3)的顶部中间设置有第二削角磁钢(4)。
5.根据权利要求4所述的削角磁钢的磁控溅射阴极，其特征在于，所述第二削角磁钢(4)的竖直截面为顶部至少一个内角不等于90度的多边形。
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