[实用新型]蒸镀设备

说明书

本实用新型提供一种蒸镀设备包括蒸发源壳体、第一调整装置、蒸发源以及第二调整装置。所述蒸发源壳体具有中空的腔室。所述蒸发源设置于所述腔室内。所述第一调整装置连接于所述蒸发源壳体，以带动所述蒸发源壳体相对于基材移动。所述第二调整装置设置于所述腔室内，其连接于所述蒸发源，以带动所述蒸发源相对于所述基材移动。所述第一调整装置和所述第二调整装置可以同步或异步进行伸出或回缩动作来调整所述蒸发源的高度，进而实现更快的调节蒸发速率的目的，使薄膜均匀性更好。

技术领域

本实用新型涉及薄膜蒸镀技术领域，特别是涉及一种蒸镀设备。

背景技术

CIGS是太阳能薄膜电池CuInGa_(1-x)Se₂的简写。铜铟镓硒薄膜太阳能电池由于具有高转换效率、高光吸收系数、高稳定性和良好的抗辐射能力等优点，被认为是第三代太阳能电池的主要材料，其最高转换效率已达到19％以上。CIGS 薄膜太阳能电池是多层结构组件，主要结构包括：基底、背电极、吸收层、缓冲层、透明导电层和减反射层。目前的研究重点主要集中在吸收层的制备工艺开发上。制备CIGS吸收层的主要方法有共蒸发法和溅射法。

一般CIGS薄膜的制备采用共蒸发法，是在真空室内由蒸发源向基底蒸发金属材料，反应沉积CIGS薄膜。对蒸发材料的蒸发速率的控制是制备薄膜的关键，传统的蒸镀装置通过控制蒸发源温度来控制蒸发速率。从而实现对薄膜蒸镀的整体控制。蒸发源温度的控制比较简单，但在薄膜沉积的过程中，沉积速率调整慢，导致薄膜蒸镀的均匀性差。

实用新型内容

基于此，有必要针对薄膜的沉积速率调整慢的问题，提供一种蒸镀设备。

一种蒸镀设备，包括：

蒸发源壳体，具有中空的腔室；

蒸发源，设置于所述腔室内；

第一调整装置，其连接于所述蒸发源壳体，以带动所述蒸发源壳体相对于基材移动；以及，

第二调整装置，设置于所述腔室内，其连接于所述蒸发源，以带动所述蒸发源相对于所述基材移动。

在其中一个实施例中，所述第一调整装置的数量为多个，设置于所述腔体的底部的周缘，所述第一调整装置相对于所述腔体的底部的中心点对称布置。

在其中一个实施例中，所述蒸镀设备还包括修正板组件，与所述蒸发源相对并且间隔设置，且设置于所述蒸发源远离所述腔体的底部一侧，所述修正板组件开设有多个气孔。

在其中一个实施例中，所述修正板组件包括：

第一修正板，开设有多个第一通孔；以及，

与所述第一修正板层叠设置的第二修正板，所述第二修正板开设有多个第二通孔，当所述第一修正板和第二修正板相对移动时，所述第一通孔与所述第二通孔重叠的部分形成为所述气孔。

在其中一个实施例中，所述蒸镀设备还包括：

膜厚检测装置，具有至少一个检测探头，用于检测所述基材经过蒸镀后的膜层厚度；

控制系统，与所述膜厚检测装置、所述第一调整装置以及所述第二调整装置均通信连接；

所述控制系统根据所述膜层厚度发送位移信息至所述第一调整装置和/或所述第二调整装置，以使所述第一调整装置和/或所述第二调整装置执行所述位移信息。

在其中一个实施例中，所述蒸发源包括多个蒸发单元，与所述基材基本等间距设置，对应每一个所述蒸发单元设置至少一个检测探头。

在其中一个实施例中，每个所述蒸发单元由多个所述第二调整装置支撑。

在其中一个实施例中，所述蒸镀设备还包括电极对，设置于所述蒸发源壳体的外部，所述电极对通过柔性连接线，与所述蒸发源连接。