[实用新型]蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

蒸发源壳体(200)，具有中空的腔室；

蒸发源(400)，设置于所述腔室内；

第一调整装置(300)，其连接于所述蒸发源壳体(200)，以带动所述蒸发源壳体(200)相对于基材(700)移动；以及，

第二调整装置(500)，设置于所述腔室内，其连接于所述蒸发源(400)，以带动所述蒸发源(400)相对于所述基材(700)移动。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一调整装置(300)的数量为多个，设置于所述腔体的底部的周缘，所述第一调整装置(300)相对于所述腔体的底部的中心点对称布置。

3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括修正板组件(600)，与所述蒸发源(400)相对并且间隔设置，且设置于所述蒸发源(400)远离所述腔体的底部一侧，所述修正板组件(600)开设有多个气孔(610)。

4.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述修正板组件(600)包括：

第一修正板(620)，开设有多个第一通孔(622)；以及，

与所述第一修正板(620)层叠设置的第二修正板(630)，所述第二修正板(630)开设有多个第二通孔(632)，当所述第一修正板(620)和第二修正板(630)相对移动时，所述第一通孔(622)与所述第二通孔(632)重叠的部分形成为所述气孔(610)。

5.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述修正板组件(600)与所述基材(700)相对间隔设置，所述基材(700)设置于所述修正板组件(600)远离所述蒸发源(400)的一侧，所述修正板组件(600)与所述基材(700)间的距离为10mm-150mm。

6.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：

膜厚检测装置(800)，具有至少一个检测探头，用于检测所述基材(700)经过蒸镀后的膜层厚度；

控制系统(900)，与所述膜厚检测装置(800)、所述第一调整装置(300)以及所述第二调整装置(500)均通信连接；

所述控制系统(900)根据所述膜层厚度发送位移信息至所述第一调整装置(300)和/或所述第二调整装置(500)，以使所述第一调整装置(300)和/或所述第二调整装置(500)执行所述位移信息。

7.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发源(400)包括多个蒸发单元，与所述基材(700)基本等间距设置，对应每一个所述蒸发单元设置至少一个检测探头。

8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，每个所述蒸发单元由多个所述第二调整装置(500)支撑。

9.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括电极对(410)，设置于所述蒸发源壳体(200)的外部，所述电极对(410)通过柔性连接线(420)与所述蒸发源(400)连接。

10.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括一个真空腔体(100)，所述蒸发源壳体(200)、所述第一调整装置(300)、所述蒸发源(400)以及所述第二调整装置(500)都容纳于所述真空腔体(100)内。