[实用新型]一种半导体测试台

权利要求书

1.一种半导体测试台，包括八角台(7)、移动台(12)和测试台(10)其特征在于，还包括：

底板(1)，所述底板(1)为长方形，所述底板(1)上相对两侧垂直固定有第一侧板(2)和第二侧板(4)，所述第一侧板(2)和所述第二侧板(4)的一端垂直连接有端板(3)且所述端板(3)与所述底板(1)垂直固定连接；所述第一侧板(2)上设置有充气口(13)；

上台板(6)，所述上台板(6)覆盖在所述底板(1)的上方且分别和所述第一侧板(2)、所述第二侧板(4)以及所述端板(3)连接；以及

封口板(14)，所述封口板(14)分别和所述第一侧板(2)以及所述第二侧板(4)连接；所述底板(1)、所述上台板(6)、所述第一侧板(2)、所述第二侧板(4)、所述端板(3)以及所述封口板(14)限定出半导体测试腔(8)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体测试台，其特征在于，所述上台板(6)包括：第一上台板(61)和第二上台板(62)，所述第一上台板(61)和所述第二上台板(62)拼接组成所述上台板(6)；所述第一上台板(61)分别和所述第一侧板(2)、所述第二侧板(4)以及所述端板(3)连接；所述第二上台板(62)分别和所述第一侧板(2)以及所述第二侧板(4)连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体测试台，其特征在于，所述第二上台板(62)上设置有八角台安装孔(16)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体测试台，其特征在于，所述底板(1)上与所述八角台安装孔(16)对应的位置设置有第一移动台连接孔(17)；所述第一移动台连接孔的上方铺设密封板层(9)；所述密封板层(9)的中心设置有与所述第一移动台连接孔(17)位置对应的第二移动台连接孔(15)；连接件(11)分别穿过所述第二移动台连接孔(15)以及所述第一移动台连接孔(17)，将所述测试台(10)可滑动连接于所述移动台(12)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体测试台，其特征在于，所述密封板层(9)包括：外托板(91)、大托板(92)、中托板(93)和小托板(94)；所述外托板(91)、所述大托板(92)、所述中托板(93)和所述小托板(94)依次叠放在所述第一移动台连接孔(17)的上方；所述外托板(91)、所述大托板(92)、所述中托板(93)和所述小托板(94)的中心分别设置有孔径相同的第二移动台连接孔(15)。

6.根据权利要求4所述的一种半导体测试台，其特征在于，所述测试台(10)通过滑动导轨(5)滑动连接于所述移动台(12)。

7.根据权利要求1-5任一所述的一种半导体测试台，其特征在于，所述封口板(14)可枢转的连接于底板(1)。