[实用新型]三维扫描平台

权利要求书

1.一种三维扫描平台，设置于显微镜底座上，用于承载载玻片，所述三维扫描平台的空间坐标系的X轴、Y轴、Z轴设定如下：以所述三维扫描平台的正视来看，所述X轴水平摆放，指向左右方向；所述Y轴水平摆放，指向前后方向；所述Z轴竖直摆放，指向上下方向，其特征在于，所述三维扫描平台包括：

第一支撑平台；

第二支撑平台；

工作平台，用于承载所述载玻片；

Z轴驱动控制装置，包括Z轴驱动单元和Z轴滑轨，所述Z轴滑轨竖直设置在所述显微镜底座上，并且所述Z轴滑轨连接于所述第一支撑平台的下方，所述第一支撑平台与所述Z轴驱动单元连接，所述Z轴驱动单元驱动所述第一支撑平台沿着所述Z轴滑轨朝Z轴方向往复位移；

Y轴驱动控制装置，包括Y轴驱动单元和Y轴滑轨，所述Y轴滑轨设置在所述第一支撑平台上，所述第二支撑平台设置在所述Y轴滑轨上并与所述Y轴驱动单元连接，所述Y轴驱动单元驱动所述第二支撑平台沿着所述Y轴滑轨朝Y轴方向往复位移；以及

X轴驱动控制装置，包括X轴驱动单元和X轴滑轨，所述X轴滑轨设置在所述第二支撑平台上，所述工作平台设置在所述X轴滑轨上并与所述X轴驱动单元连接，所述X轴驱动单元驱动所述工作平台沿着所述X轴滑轨朝X轴方向往复位移。

2.根据权利要求1所述的三维扫描平台，其特征在于，所述Z轴驱动单元还包括Z轴滚珠丝杠副、用于驱动所述Z轴滚珠丝杠副转动的Z轴驱动电机、用于联接所述Z轴滚珠丝杠副与所述Z轴驱动电机的Z轴联轴器和设置于所述Z轴滑轨上的滑块，所述Z轴滚珠丝杠副的滚珠丝杠螺母与所述滑块连接，所述第一支撑平台通过所述滑块与所述Z轴滑轨连接并通过所述Z轴驱动电机驱动所述第一支撑平台沿着所述Z轴滑轨朝Z轴方向往复位移。

3.根据权利要求2所述的三维扫描平台，其特征在于，所述Z轴驱动电机为五相步进电机；和/或所述Z轴滚珠丝杠副为C3精度0601型号的滚珠丝杠副；和/或所述Z轴联轴器为膜片式联轴器。

4.根据权利要求2所述的三维扫描平台，其特征在于，所述三维扫描平台还包括至少一个Z轴限位传感器，设置于与所述Z轴滚珠丝杠副的滚珠丝杠螺母相对应位置处，所述Z轴传感器用于感测并限位所述第一支撑平台朝Z轴方向往复位移的距离。

5.根据权利要求1所述的三维扫描平台，其特征在于，所述Y轴驱动单元还包括Y轴滚珠丝杠副、用于驱动所述Y轴滚珠丝杠副转动的Y轴驱动电机和用于联接所述Y轴滚珠丝杠副与所述Y轴驱动电机的Y轴联轴器，所述Y轴滚珠丝杠副的滚珠丝杠螺母与所述第二支撑平台连接，所述Y轴驱动电机通过驱动所述Y轴滚珠丝杠副转动带动所述第二支撑平台沿着所述Y轴滑轨朝Y轴方向往复位移。

6.根据权利要求5所述的三维扫描平台，其特征在于，所述Y轴驱动电机为五相步进电机；和/或所述Y轴滚珠丝杠副为C3精度0602型号的滚珠丝杠副；和/或Y轴联轴器为膜片式联轴器。

7.根据权利要求5所述的三维扫描平台，其特征在于，所述三维扫描平台还包括Y轴限位块，设置于所述第一支撑平台上并与所述Y轴滚珠丝杠副的滚珠丝杠螺母相对应，所述Y轴限位块用于限位所述第二支撑平台朝Y轴方向往复位移的距离。

8.根据权利要求5所述的三维扫描平台，其特征在于，所述三维扫描平台还包括至少一个Y轴限位传感器，设置于所述第一支撑平台上，所述Y轴传感器用于感测并限位所述第二支撑平台朝Y轴方向往复位移的距离。

9.根据权利要求1所述的三维扫描平台，其特征在于，所述X轴驱动单元还包括X轴滚珠丝杠副、用于驱动所述X轴滚珠丝杠副转动的X轴驱动电机、用于联接所述X轴滚珠丝杠副与所述X轴驱动电机的X轴联轴器和和X轴驱动连接板，所述X轴滚珠丝杠副的滚珠丝杠螺母通过所述X轴驱动连接板与所述工作平台连接，所述X轴驱动电机通过驱动所述X轴滚珠丝杠副驱动转动带动所述工作平台沿着所述X轴滑轨朝X轴方向往复位移。