[实用新型]镀膜用抽真空分子泵

权利要求书

1.镀膜用抽真空分子泵，其特征在于：包括泵体和用于固定泵体的防震基座，所述防震基座包括内基座和外基座，外基座包括底座和圆筒状的侧座，底座和侧座内均设有空腔；所述内基座包括多块弧形板，多块弧形板可形成圆形，弧形板滑动连接在底座上，弧形板与外基座之间均固接有支撑弹簧，弧形板内也设有空腔，空腔内均填充有减震液。

2.根据权利要求1所述的镀膜用抽真空分子泵，其特征在于：所述弧形板的侧壁上均固接有拉杆，拉杆远离弧形板的一端穿过侧座并固接有拉环。

3.根据权利要求2所述的镀膜用抽真空分子泵，其特征在于：所述弧形板的侧壁上固接有连接块，拉杆固接在连接块上。

4.根据权利要求3所述的镀膜用抽真空分子泵，其特征在于：所述弧形板的数量为三块。

5.根据权利要求4所述的镀膜用抽真空分子泵，其特征在于：所述弧形板的底端均转动连接有滑轮，底座的上端面设有供滑轮滑动的滑槽。

6.根据权利要求5所述的镀膜用抽真空分子泵，其特征在于：所述底座的上端面设有减震垫。

7.根据权利要求6所述的镀膜用抽真空分子泵，其特征在于：所述支撑弹簧外套设有弹性筒。