[实用新型]一种探针台使用的探针卡装置

说明书

本实用新型公开了一种探针台使用的探针卡装置，包括探针工作台，所述探针工作台的顶部开设有放置槽，放置槽内放置有探针卡装置本体，放置槽的底部内壁上开设有第一滑槽，探针卡装置本体的底部固定安装有第一滑块，且第一滑块与第一滑槽滑动连接，第一滑槽的一侧内壁上开设有转动槽，第一滑块上开设有螺纹通孔，探针工作台的一侧开设有第一通孔，且第一通孔、第一滑槽和转动槽内转动安装有同一个丝杆，且丝杆的一端贯穿螺纹通孔并与螺纹通孔螺纹连接。本实用新型结构简单，操作方便，可以快速方便的对探针卡装置本体进行移动，提升了其检测效率，使其检测更全面，满足了人们的需求。

技术领域

本实用新型涉及探针卡装置技术领域，尤其涉及一种探针台使用的探针卡装置。

背景技术

探针卡装置是集成电路工艺领域的重要测试装置，应用于在集成电路尚未封装之前，针对半导体衬底用探针卡做功能测试，探针卡负责测试系统与集成电路芯片之间的电气连接，探针卡上有很多探针，在测试时，探针卡上的探针与半导体衬底上的焊垫接触，对半导体衬底输出信号或者测试半导体衬底信号的输出值，现有的探针卡装置通常包括探针卡和探针卡平台的缺陷是，由于探针卡刚好放入探针卡平台中，使得探针卡的移动和测试不够方便，所以不能满足人们的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种探针台使用的探针卡装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种探针台使用的探针卡装置，包括探针工作台，所述探针工作台的顶部开设有放置槽，放置槽内放置有探针卡装置本体，放置槽的底部内壁上开设有第一滑槽，探针卡装置本体的底部固定安装有第一滑块，且第一滑块与第一滑槽滑动连接，第一滑槽的一侧内壁上开设有转动槽，第一滑块上开设有螺纹通孔，探针工作台的一侧开设有第一通孔，且第一通孔、第一滑槽和转动槽内转动安装有同一个丝杆，且丝杆的一端贯穿螺纹通孔并与螺纹通孔螺纹连接，丝杆的另一端贯穿第一通孔并延伸至探针工作台的外侧并固定安装有把手，探针工作台的一侧固定安装有固定块，固定块上开设有第二通孔，第二通孔内滑动安装有滑动杆，丝杆的顶部开设有卡槽，且滑动杆的底端与卡槽相卡装，第二通孔的两侧内壁上均开设有第二滑槽，滑动杆的两侧均固定安装有第二滑块，且两个第二滑块分别与相对应的第二滑槽滑动连接，第二滑块的顶部固定安装有限位弹簧，限位弹簧远离第二滑块的一端固定安装于第二滑槽的顶部内壁上。

优选的，所述转动槽内固定安装有第一轴承的外圈，且丝杆与第一轴承的内圈固定连接。

优选的，所述第一通孔内固定安装有第二轴承的外圈，且丝杆与第二轴承的内圈固定连接。

优选的，所述卡槽的数量为多个，且多个卡槽环形等距离开设在丝杆上。

优选的，所述第一滑块的底端嵌装有多个第一滚珠，且多个第一滚珠与第一滑槽滚动连接。

优选的，两个第二滑块相互远离的一端均嵌装有多个第二滚珠，且多个第二滚珠分别与相对应的第二滑槽滚动连接。

本实用新型的有益效果：

通过探针工作台、放置槽、探针卡装置本体、第一滑槽、第一滑块、转动槽、螺纹通孔、第一通孔、丝杆和把手的相互配合下，能够快速方便的对探针卡装置本体进行移动，提升了其检测效率，使其检测更全面，转动把手，把手带动丝杆进行转动，丝杆带动第一滑块进行移动，第一滑块带动探针卡装置本体进行移动，通过固定块、第二通孔、滑动杆、卡槽、第二滑槽、第二滑块和限位弹簧的相互配合下，能够快速方便的对把手进行固定，拉动滑动杆，滑动杆带动第二滑块进行移动，第二滑块压缩限位弹簧，限位弹簧吸能，使滑动杆移出卡槽内，然后松开滑动杆，通过限位弹簧的弹簧回弹作用力下，使滑动杆卡入卡槽内，本实用新型结构简单，操作方便，可以快速方便的对探针卡装置本体进行移动，提升了其检测效率，使其检测更全面，满足了人们的需求。

附图说明