[实用新型]一种探针台使用的探针卡装置有效
申请号: | 201821309830.2 | 申请日: | 2018-08-15 |
公开(公告)号: | CN208984679U | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | 朱丽华;杨宏民 | 申请(专利权)人: | 深圳台达创新半导体有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 李静 |
地址: | 518116 广东省深圳市大鹏新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探针卡装置 滑槽 第一滑块 螺纹通孔 放置槽 工作台 探针 本实用新型 探针台 转动槽 丝杆 通孔 底部内壁 滑动连接 螺纹连接 转动安装 检测 内壁 贯穿 移动 | ||
1.一种探针台使用的探针卡装置,包括探针工作台(1),其特征在于,所述探针工作台(1)的顶部开设有放置槽(2),放置槽(2)内放置有探针卡装置本体(3),放置槽(2)的底部内壁上开设有第一滑槽(4),探针卡装置本体(3)的底部固定安装有第一滑块(5),且第一滑块(5)与第一滑槽(4)滑动连接,第一滑槽(4)的一侧内壁上开设有转动槽(6),第一滑块(5)上开设有螺纹通孔(7),探针工作台(1)的一侧开设有第一通孔(8),且第一通孔(8)、第一滑槽(4)和转动槽(6)内转动安装有同一个丝杆(9),且丝杆(9)的一端贯穿螺纹通孔(7)并与螺纹通孔(7)螺纹连接;
丝杆(9)的另一端贯穿第一通孔(8)并延伸至探针工作台(1)的外侧并固定安装有把手(10),探针工作台(1)的一侧固定安装有固定块(11),固定块(11)上开设有第二通孔(12),第二通孔(12)内滑动安装有滑动杆(13),丝杆(9)的顶部开设有卡槽(14),且滑动杆(13)的底端与卡槽(14)相卡装,第二通孔(12)的两侧内壁上均开设有第二滑槽(15),滑动杆(13)的两侧均固定安装有第二滑块(16),且两个第二滑块(16)分别与相对应的第二滑槽(15)滑动连接,第二滑块(16)的顶部固定安装有限位弹簧(17),限位弹簧(17)远离第二滑块(16)的一端固定安装于第二滑槽(15)的顶部内壁上。
2.根据权利要求1所述的一种探针台使用的探针卡装置,其特征在于,所述转动槽(6)内固定安装有第一轴承的外圈,且丝杆(9)与第一轴承的内圈固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种探针台使用的探针卡装置,其特征在于,所述第一通孔(8)内固定安装有第二轴承的外圈,且丝杆(9)与第二轴承的内圈固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种探针台使用的探针卡装置,其特征在于,所述卡槽(14)的数量为多个,且多个卡槽(14)环形等距离开设在丝杆(9)上。
5.根据权利要求1所述的一种探针台使用的探针卡装置,其特征在于,所述第一滑块(5)的底端嵌装有多个第一滚珠,且多个第一滚珠与第一滑槽(4)滚动连接。
6.根据权利要求1所述的一种探针台使用的探针卡装置,其特征在于,两个第二滑块(16)相互远离的一端均嵌装有多个第二滚珠,且多个第二滚珠分别与相对应的第二滑槽(15)滚动连接。
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