[实用新型]一种多晶硅还原炉电极结构

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉电极结构，其特征在于：包括电极体（1），所述电极体（1）安装在还原炉底盘（2）内，所述电极体（1）和还原炉底盘（2）之间设有电极绝缘套（3），所述电极绝缘套（3）与电极体（1）套接且紧密贴合，所述电极体（1）还套接有绝缘环（4），所述绝缘环（4）位于电极绝缘套（3）的上方，所述电极体（1）设有上凸缘（5）和下凸缘，所述绝缘环（4）安装在上凸缘（5）下方，所述上凸缘（5）与绝缘环（4）上端面之间设有上垫片（6），所述绝缘环（4）下端面与还原炉底盘（2）的上端面之间设有下垫片（7），所述绝缘环（4）下端面设有环形凸起（8），所述环形凸起（8）伸入电极绝缘套（3）与还原炉底盘（2）顶部之间，所述电极绝缘套（3）对应下凸缘设有台阶，所述台阶内外分别配装内氟橡胶垫片（9）和外氟橡胶垫片（10）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极结构，其特征在于：所述上垫片（6）和下垫片（7）均采用RSB材质的耐高温垫片，起次密封作用。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极结构，其特征在于：所述上垫片（6）和下垫片（7）的压缩率为35-40%，回复率大于15%。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极结构，其特征在于：所述电极绝缘套（3）为聚四氟乙烯绝缘套。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极结构，其特征在于：所述绝缘环（4）为氮化硅或石英绝缘环，绝缘环（4）上端面与上凸缘（5）底部留有1-2mm间隙。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极结构，其特征在于：所述氟橡胶垫片（9）和外氟橡胶垫片（10）的厚度为5-6mm,起主要密封作用。

7.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极结构，其特征在于：所述上凸缘（5）的外径不小于还原炉底盘（2）的外径。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极结构，其特征在于：所述绝缘环（4）的下端面的外径大于还原炉底盘（2）的外径。