[实用新型]可更换抛光液的光化学机械加工平台

权利要求书

1.可更换抛光液的光化学机械加工平台，其特征在于，包括：

机器人模块，包括六自由度串联机器人和柔性气动抛光装置，柔性抛光装置安装在六自由度串联机器人的活动端，用于调整工件位置；

自动化工作台，用于夹紧并浸泡工件的同时可对工件进行照射；

抛光液循环单元，设置于自动化工作台旁，并且其加液口位于自动化工作台的抛光池正上方，其回流口与自动化工作台的出液口管路连通，实现抛光液的循环的同时可向抛光自动化工作台中添加抛光液；

以及控制柜，与机器人模块、自动化工作台以及抛光液循环单元的控制端电连接或信号连接，用于控制机器人模块、自动化工作台、抛光液循环单元工作以对工件进行加工。

2.如权利要求1所述的可更换抛光液的光化学机械加工平台，其特征在于：所述六自由度串联机器人的底部固接在抛光工作台旁的地面上，工业机器人的机械臂活动端固装柔性气动抛光装置，并且六自由度串联机器人机械臂活动端的活动区域覆盖自动化工作台的加工区。

3.如权利要求1所述的可更换抛光液的光化学机械加工平台，其特征在于：所述柔性气动抛光装置包括用于驱动柔性抛光头沿自身轴向移动的多级气缸、用于向多级气缸供气的气动装置以及用于对工件进行加工的磨粒层，气动装置分别与工业机器人的机械臂活动端以及多级气缸固接，并且气动装置的充气口与外部压缩气源管路连通，排气口与多级气缸的进气口管路连通；多级气缸的活动端顶部密封磨粒层，二者形成可与工件待加工表面贴合的柔性抛光头。

4.如权利要求1所述的可更换抛光液的光化学机械加工平台，其特征在于：所述自动化工作台包括工作台底座、工件夹持装置、蝶阀模块以及光源模块，所述工作台底座设有用于安装工件夹持装置的圆盘、用于安装光源模块的安装槽以及用于回收抛光液的管道接口，其中圆盘以及安装槽设置在工作台底座顶面上，管道接口的出液端设置在工作台底座的侧面，其进液端贯通圆盘后与工件夹持装置的抛光池连通；所述工作台底座的底部固定在地面上，上端圆盘上固装工件夹持装置；蝶阀模块安装在工件夹持装置上，并且蝶阀模块的出液端通过相应管路连通至管道接口的进液端处；管道接口的出液端作为自动化工作台的出液口，与抛光液循环单元的进液口管路连通，实现抛光液的回收；所述光源模块包括支架和光源，所述支架通过螺钉安装在工作台底座上的螺纹孔上，所述光源安装在支架上，保证光源正对着工件夹持装置的抛光池。

5.如权利要求4所述的可更换抛光液的光化学机械加工平台，其特征在于：所述工件夹持装置包括装夹台和环形玻璃罩，所述装夹台固装在圆盘上，并且装夹台的上端面作为用于固定工件的夹紧面，且装夹台的夹紧面设有多个用于嵌装蝶阀模块相应部件的凹槽；环形玻璃罩的底边与装夹台的外沿密封固装，二者共同围成用于容纳抛光液的抛光池。

6.如权利要求5所述的可更换抛光液的光化学机械加工平台，其特征在于：所述装夹台的夹紧面设有三个用于嵌装蝶阀模块相应部件的凹槽，分别为第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽。

7.如权利要求6所述的可更换抛光液的光化学机械加工平台，其特征在于：所述蝶阀模块包括舵机、联轴器、两个轴承座以及可封堵在管道接口进液端的蝶形瓣，所述舵机安装第一凹槽中，并保证舵机的输出轴朝向第二凹槽；所述联轴器一端与舵机的输出轴相连；所述两个轴承座内部包含轴承，分别安装在第二、第三凹槽中并保证密封性；所述蝶形瓣安装在管道接口进液端，且所述蝶形瓣一端部通过嵌装在第二凹槽内的轴承座支撑后与联轴器固接，另一端支撑在嵌装在第三凹槽中的轴承座上，蝶形瓣在舵机的控制下可绕其自身轴向周向翻转以控制管道接口进液端的通断。