[实用新型]一种磁控溅射装置和磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201821184166.3 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN208604202U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 李皓瑜;刘宇翔;张建红;朱之贞;胡建明;陈权;杨津听;李坤伦;柴大克;孙胜凡;丁洁;周雄飞;聂川滨;杨红飞;俞云坤;曾仁武 | 申请（专利权）人： | 昆明星众科技孵化器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 650000 云南省昆明*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射靶 靶基距 减速箱 中齿轮 磁控溅射装置 公转电机 自转齿轮 自转电机 齿轮组 调控箱 输出端 真空室 自转轴 啮合 磁控溅射镀膜 磁控溅射设备 加热器 本实用新型 膜厚均匀性 安装工件 啮合连接 充气孔 抽气孔 大基片 多工位 公转轴 可调节 偏心距 小齿轮 转速比 自转 靶材 头端 室外 两边 室内 分析 研究 | ||
1.一种磁控溅射装置，包括真空室、自转电机、中齿轮、减速箱、公转电机、靶基距调控箱和磁控溅射靶，其特征在于：真空室外顶部的左右侧分别垂直安装自转电机和公转电机；
所述自转电机输出端进入真空室内与中齿轮啮合的小齿轮连接，中齿轮上固定安装一个齿轮组，齿轮组通过轴承与真空室内的公转轴上套的套筒连接，齿轮组两边啮合连接自转齿轮，自转齿轮上安装自转轴，自转轴头端安装工件架；所述公转电机输出端与安装在真空室外顶部中间的减速箱连接，减速箱与公转轴连接，公转轴下端安装偏心距调动块，末端安装公转盘，减速箱上端安装偏心距调动箱，偏心距调动箱连接公转轴上的套筒，
公转盘上设计4个滑槽滑块机构，滑块上安装轴承与偏心距调动块上安装的触手固定，公转盘径向的滑块外侧开设螺纹孔并装有弹簧，螺纹孔通过螺栓封孔并顶住弹簧的一侧；
公转盘上均布有4个圆形孔用于固定自转轴，真空室底部安装有抽气孔、磁控溅射靶、充气孔及加热器，磁控溅射靶上安装靶基距调控箱。
2.如权利要求1所述的一种磁控溅射装置，其特征在于：所述公转电机输出端外接涡轮蜗杆变向后与安装在真空室外顶部中间的减速箱连接，减速箱的输出轴通过齿轮与公转轴连接。
3.如权利要求1所述的一种磁控溅射装置，其特征在于：所述公转盘上设计4个滑槽滑块机构为公转盘径向开设4个滑槽，滑槽上安装4个滑块，滑块上安装轴承与偏心距调动块上安装的触手固定，同时滑块与自转齿轮上的自转轴连接；所述偏心距调动块为锥形调动块。
4.如权利要求1所述的一种磁控溅射装置，其特征在于：所述齿轮组有半径大小不同的多个齿轮组成，并与自转齿轮相配合，带动自转轴转动从而带动工件架自转，偏心距调动箱可使套筒向上或向下运动。
5.如权利要求1所述的一种磁控溅射装置，其特征在于：所述磁控溅射靶上安装靶基距调控箱，通过旋转靶基距调控箱直接调整磁控溅射靶的纵向位置。
6.一种磁控溅射设备，其特征在于：运用权利要求1-5任意一项所述的磁控溅射装置进行镀膜的设备。
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