[实用新型]一种钨化硅装置上半端罩部件洗净溶射专用保护治具有效

申请号：	201821176272.7	申请日：	2018-07-24
公开（公告）号：	CN208517508U	公开（公告）日：	2019-02-19
发明（设计）人：	陈智慧;朱光宇;张正伟;李泓波;贺贤汉	申请（专利权）人：	富乐德科技发展（大连）有限公司
主分类号：	C23C4/02	分类号：	C23C4/02
代理公司：	大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235	代理人：	盖小静
地址：	116600 辽宁省大连市保税区***	国省代码：	辽宁;21
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摘要：
搜索关键词：	治具洗净倾斜支撑面水平支撑面侧壁耐高温胶带环状结构专用保护钨化硅上端端罩空腔耐热性本实用新型不锈钢材质表面光亮侧壁顶部遮蔽保护治具表面重复利用副产物再使用污垢残胶下端遮蔽粘贴清洗
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【权利要求书】：

1.一种钨化硅装置上半端罩部件洗净溶射专用保护治具，其特征在于，包括侧壁(3)、水平支撑面(4)、倾斜支撑面(5)和空腔(2)；所述侧壁(3)为上端直径大于下端直径的环状结构，所述环状结构内部为空腔(2)；水平支撑面(4)位于侧壁(3)顶部，倾斜支撑面(5)位于侧壁(3)内部上端，所述水平支撑面(4)与倾斜支撑面(5)连接。

2.根据权利要求1所述的一种钨化硅装置上半端罩部件洗净溶射专用保护治具，其特征在于，所述侧壁(3)外端设置一圈凸台(6)。

3.根据权利要求2所述的一种钨化硅装置上半端罩部件洗净溶射专用保护治具，其特征在于，所述凸台(6)上设置多个定位孔(7)。

4.根据权利要求2所述的一种钨化硅装置上半端罩部件洗净溶射专用保护治具，其特征在于，所述凸台(6)下端面设置凹槽(8)。

5.根据权利要求1所述的一种钨化硅装置上半端罩部件洗净溶射专用保护治具，其特征在于，所述侧壁(3)内部包括倾斜支撑面(5)和内表面，侧壁(3)的内表面与垂直面形成的倾斜角度小于倾斜支撑面(5)与垂直面形成的倾斜角度。

6.根据权利要求1所述的一种钨化硅装置上半端罩部件洗净溶射专用保护治具，其特征在于，所述侧壁(3)采用不锈钢材质。

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