[实用新型]一种旋转靶材用的连接装置、端盖及防护装置

说明书

本实用新型实施例提供一种旋转靶材用的连接装置、端盖及防护装置，所述连接装置包括端盖和防护装置，所述端盖包括轴连接器和插接靶材的靶材连接器，所述防护装置与所述端盖相配合，所述防护装置包括防护罩，所述防护罩由至少两个弧形的子罩体首尾相连共同围合形成，所述防护罩包覆所述靶材连接器和所述靶材的端部，所述防护罩包覆所述靶材连接器的一端设置有防护板，所述防护板固定于所述靶材连接器的靠近所述轴连接器的端面。本实用新型实施例能够防止喷涂过程中的粉末溅射到端盖上，延长端盖的使用寿命，而且喷涂靶材的效率更高。

技术领域

本实用新型涉及喷涂靶材的生产设备领域，并且更具体地，涉及一种旋转靶材用的连接装置、端盖及防护装置。

背景技术

目前在旋转靶材的制作过程中，通常是将背衬管与端盖连接，再将端盖与喷涂转盘卡口式连接实现靶材与工作台的连接。在喷涂靶材的过程中，通常存在以下问题：

在高速喷涂的过程中，喷涂粉末不仅沉积在背衬管，还有部分粉末粒子会在撞击靶材表面时反弹溅射到端盖上，特别是在喷枪中心位置没有校准好时，有可能存在粉末直接被喷涂到端盖上的情况。喷涂粉末在端盖表面沉积，会造成端盖被污染，影响端盖的尺寸，从而影响后续安装靶材时由于尺寸的配合问题而导致端盖的报废，影响端盖的使用寿命。

同时，与端盖连接的靶材的末端区域，通常不需要喷涂，但在高速喷涂过程中也会存在部分粒子反弹溅射到靶材末端，导致需要在后续靶材精加工步序中将该区域附着粉末剥离，引入不必要的加工工序。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种旋转靶材用的连接装置、端盖及防护装置，以解决喷涂靶材过程中喷涂粉末喷射到端盖影响端盖寿命以及喷涂粉末反弹溅射到靶材末端引入不必要的加工工序的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种旋转靶材用的连接装置，所述连接装置包括：

端盖，所述端盖包括轴连接器和插接靶材的靶材连接器，所述靶材连接器的外径大于所述轴连接器的外径，所述靶材连接器侧壁设置有第一安装部；

防护装置，所述防护装置包括防护罩，所述防护罩由至少两个弧形的子罩体首尾相连共同围合形成，所述防护罩包覆所述靶材连接器和所述靶材的端部，所述防护罩通过所述第一安装部与所述靶材连接器固定连接；

所述防护罩包覆所述靶材连接器的一端设置有防护板，所述防护板设有允许所述轴连接器穿过的通孔，所述防护板固定于所述靶材连接器的靠近所述轴连接器的端面；

所述防护板沿所述靶材连接器径向的尺寸大于所述靶材连接器径向的尺寸。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种端盖，所述端盖包括轴连接器和插接靶材的靶材连接器，所述靶材连接器的外径大于所述轴连接器的外径，所述靶材连接器侧壁设置有第一安装部。

可选的，所述靶材连接器的靠近所述靶材的端面设置有定位环。

第三方面，本实用新型实施例提供了一种防护装置，所述防护装置与所述端盖相配合，所述防护装置包括防护罩，所述防护罩由至少两个弧形的子罩体首尾相连共同围合形成，所述防护罩包覆所述靶材连接器和所述靶材的端部；

所述防护罩包覆所述靶材连接器的一端设置有防护板，所述防护板设有允许所述轴连接器穿过的通孔，所述防护板固定于所述靶材连接器的靠近所述轴连接器的端面；

所述防护板沿所述靶材连接器径向的尺寸大于所述靶材连接器径向的尺寸。

可选的，所述防护罩的每个子罩体的内侧开设有与所述端盖的定位环匹配的凹槽。

可选的，所述防护罩的每个子罩体设置有第二安装部，所述第二安装部与所述端盖的第一安装部相配合。

可选的，所述防护罩为特氟龙材质的防护罩。