[实用新型]一种旋转靶材用的连接装置、端盖及防护装置有效
| 申请号： | 201821173819.8 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208791738U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王云能;万捷;徐国军 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 端盖 防护装置 防护罩 连接器 连接装置 本实用新型 旋转靶材 轴连接器 防护板 包覆 喷涂靶材 喷涂过程 使用寿命 首尾相连 一端设置 延长端 插接 溅射 围合 子罩 配合 | ||
1.一种旋转靶材用的连接装置，其特征在于，所述连接装置包括：
端盖，所述端盖包括轴连接器和插接靶材的靶材连接器，所述靶材连接器的外径大于所述轴连接器的外径，所述靶材连接器侧壁设置有第一安装部；
防护装置，所述防护装置包括防护罩，所述防护罩由至少两个弧形的子罩体首尾相连共同围合形成，所述防护罩包覆所述靶材连接器和所述靶材的端部，所述防护罩通过所述第一安装部与所述靶材连接器固定连接；
所述防护罩包覆所述靶材连接器的一端设置有防护板，所述防护板设有允许所述轴连接器穿过的通孔，所述防护板固定于所述靶材连接器靠近所述轴连接器的端面；
所述防护板沿所述靶材连接器径向的尺寸大于所述靶材连接器径向的尺寸。
2.一种旋转靶材用的端盖，其特征在于，所述端盖包括轴连接器和插接靶材的靶材连接器，所述靶材连接器的外径大于所述轴连接器的外径，所述靶材连接器侧壁设置有第一安装部。
3.如权利要求2所述的端盖，其特征在于，所述靶材连接器的靠近所述靶材的端面设置有定位环。
4.一种防护装置，其特征在于，所述防护装置与如权利要求2所述的端盖相配合，所述防护装置包括防护罩，所述防护罩由至少两个弧形的子罩体首尾相连共同围合形成，所述防护罩包覆所述靶材连接器和所述靶材的端部；
所述防护罩包覆所述靶材连接器的一端设置有防护板，所述防护板设有允许所述轴连接器穿过的通孔，所述防护板固定于所述靶材连接器的靠近所述轴连接器的端面；
所述防护板沿所述靶材连接器径向的尺寸大于所述靶材连接器径向的尺寸。
5.如权利要求4所述的防护装置，其特征在于，所述防护装置与如权利要求3所述的端盖相配合，所述防护罩的每个子罩体的内侧开设有与所述端盖的定位环匹配的凹槽。
6.如权利要求4或5所述的防护装置，其特征在于，所述防护罩的每个子罩体设置有第二安装部，所述第二安装部与所述端盖的第一安装部相配合。
7.如权利要求4或5所述的防护装置，其特征在于，所述防护罩为特氟龙材质的防护罩。
8.如权利要求4或5所述的防护装置，其特征在于，所述防护罩由两个弧形的子罩体首尾相连共同围合形成。
9.如权利要求4或5所述的防护装置，其特征在于，所述防护罩包覆所述靶材端部的部分沿所述靶材中心线远离所述端盖的方向外径逐渐变小。
10.一种旋转靶材用的连接装置，其特征在于，所述连接装置包括如权利要求5-9中任一项所述的防护装置以及如权利要求3所述的端盖。
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