[实用新型]进出片室和真空镀膜设备

说明书

本实用新型提供一种进出片室和真空镀膜设备，用于对基片进行真空镀膜，所述进出片室包括壳体，所述进出片室还包括至少一个密封的不锈钢盒体，所述不锈钢盒体设置于所述壳体内，所述不锈钢盒体用于填充所述壳体内的空间。本实用新型通过在进出片室内设置密封的不锈钢盒体作为腔室填充件填充进出片室内的空间，能够减少将进出片室内的气体体积，从而减少抽真空过程的抽气量以及破真空过程的进气量，能够提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种进出片室和真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜指的是在低压状态下把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在基片(或称基板、基体)上凝固并沉积形成镀膜的加工过程。该加工过程通常在真空镀膜设备的进出片室内进行，通常包括依次循环进行的破真空、开启进出片室、进出片、关闭进出片室、抽真空、镀膜这六个主要步骤。

为了便于维护及适应不同尺寸的基片，进出片室内侧通常会在带动基片移动的滚轮组件上方预留较大的空间，然而在进行小尺寸基片镀膜时，由于这部分空间的存在，会导致在抽真空过程中的抽气量和破真空中的进气量增加，从而延长了抽真空和破真空过程的时间，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型提供一种进出片室和真空镀膜设备，以解决现有的真空镀膜设备的抽真空和破真空过程时间长而影响生产效率的问题。

第一方面，本实用新型提供了一种进出片室，用于对基片进行真空镀膜，所述进出片室包括壳体，所述进出片室还包括至少一个密封的不锈钢盒体，所述不锈钢盒体设置于所述壳体内，所述不锈钢盒体用于填充所述壳体内的空间。

可选的，所述不锈钢盒体的外表面粗糙度等级为Ra≤0.2um。

可选的，所述不锈钢盒体设置于所述壳体的顶板。

可选的，所述不锈钢盒体通过连接件可拆卸地吊装于所述壳体的顶板。

可选的，所述不锈钢盒体内部设置有隔板，所述隔板将所述不锈钢盒体内分隔成多个腔室。

可选的，所述不锈钢盒体内设置有加强筋，所述加强筋的两端分别与所述不锈钢盒体一组相对的内壁相连。

可选的，所述不锈钢盒体外侧设置有加强箍，且所述加强箍环绕所述不锈钢盒体设置。

可选的，所述进出片室还包括设置于所述壳体的底板上的滚轮组件，所述滚轮组件包括多组间隔设置的滚轮，相邻两个所述滚轮之间设置有至少一个所述不锈钢盒体，且设置于相邻两个滚轮之间的不锈钢盒体的高度小于各所述滚轮的高度。

可选的，设置于滚轮之间的所述不锈钢盒体，焊接于所述壳体的底板上或通过紧固件可拆卸地固定于所述壳体的底板上。

第二方面，本实用新型还提供了一种真空镀膜设备，包括上述任一项所述的进出片室。

本实用新型通过在进出片室内设置密封的不锈钢盒体作为腔室填充件填充进出片室内的空间，能够减少将进出片室内的气体体积，从而减少抽真空过程的抽气量以及破真空过程的进气量，能够提高生产效率。本公开实施例的不锈钢盒体为密封的中空填充件，不锈钢结构更强，从而壁厚更薄，填充件重量更轻，可以降低进出片室的负载。

在优选的实施例中，不锈钢盒体的外表面抛光至表面光亮或镜面光亮，表面粗糙度等级为Ra≤0.2um，从而减少外表面气体的附着，进一步减小真空过程中外接抽真空装置的吸气量，快速达到真空。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。