[实用新型]进出片室和真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201821170181.2 | 申请日： | 2018-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN208883973U | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 樊文凤;张阳 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 不锈钢盒体 进出片室 真空镀膜设备 本实用新型 室内 填充 密封 体内 生产效率 真空镀膜 抽气量 抽真空 进气量 破真空 填充件 壳体 腔室 | ||
1.一种进出片室，用于对基片进行真空镀膜，所述进出片室包括壳体，其特征在于，所述进出片室还包括至少一个密封的不锈钢盒体，所述不锈钢盒体设置于所述壳体内，所述不锈钢盒体用于填充所述壳体内的空间。
2.如权利要求1所述的进出片室，其特征在于，所述不锈钢盒体的外表面粗糙度等级为Ra≤0.2um。
3.如权利要求1所述的进出片室，其特征在于，所述壳体包括顶板，所述不锈钢盒体设置于所述壳体的顶板。
4.如权利要求3所述的进出片室，其特征在于，所述不锈钢盒体通过连接件可拆卸地吊装于所述壳体的顶板。
5.如权利要求1所述的进出片室，其特征在于，所述不锈钢盒体内部设置有隔板，所述隔板将所述不锈钢盒体内分隔成多个腔室。
6.如权利要求1所述的进出片室，其特征在于，所述不锈钢盒体内设置有加强筋，所述加强筋的两端分别与所述不锈钢盒体一组相对的内壁相连。
7.如权利要求1、5和6中任一项所述的进出片室，其特征在于，所述不锈钢盒体外侧设置有加强箍，且所述加强箍环绕所述不锈钢盒体设置。
8.如权利要求1所述的进出片室，其特征在于，所述壳体包括底板，所述进出片室还包括设置于所述壳体的底板上的滚轮组件，所述滚轮组件包括多组间隔设置的滚轮，相邻两个所述滚轮之间设置有至少一个所述不锈钢盒体，且设置于相邻两个滚轮之间的不锈钢盒体的高度小于各所述滚轮的高度。
9.如权利要求8所述的进出片室，其特征在于，设置于滚轮之间的所述不锈钢盒体，焊接于所述壳体的底板上或通过紧固件可拆卸地固定于所述壳体的底板上。
10.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的进出片室。
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