[实用新型]一种ITO靶材打磨用工装夹具

说明书

本实用新型公开了一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括工装夹具本体、底座矩形夹板和弧形夹板，所述底座的顶部两侧对称设置有侧板，所述推板的底部通过限位滑杆与侧板滑动连接，所述推板的一侧通过横杆固定连接有矩形夹板，且横杆与推板滑动嵌套连接。本实用新型中，该工装夹具上设有矩形夹板，而矩形夹板的内部沿弧形夹板的水平中线对称嵌设有弧形夹板，且弧形夹板与矩形夹板的一端均通过横杆与推板滑动连接，在横杆的端部均设有限位凸块，通过限位凸块能够灵活控制横杆的移动，从而可根据需要，对矩形ITO靶材或者管状ITO靶材进行夹持固定，该夹持装置结构简单，易于操作，实用性较较高，便于推广使用。

技术领域

本实用新型涉及ITO靶材加工设备技术领域，尤其涉及一种ITO靶材打磨用工装夹具。

背景技术

ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结(1600度，通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体，ITO薄膜是利用ITO靶材作为原材料，通过磁控溅射把ITO靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上，ITO薄膜具有导电性和透光性，厚度一般30纳米--200纳米。

ITO靶材烧结完成后会有一定程度的变形，所以需要对其进行相应的切割和平面打磨以达到客户要求的尺寸，完成切割的靶材，侧面会有切割痕，故而需要对其进行打磨处理，而在打磨工序中，需要通过工装夹具对ITO靶材进行夹持固定，然而现有的工装夹持工具局限性较大，不能够同时完成管状和矩形状ITO靶材的夹持固定，实用性不高。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种ITO靶材打磨用工装夹具。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括工装夹具本体、底座矩形夹板和弧形夹板，所述工装夹具本体上设置有底座，所述底座的顶部两侧对称设置有侧板，所述两侧板之间通过限位滑杆固定连接，所述两侧板上均通过螺纹套螺旋转动连接有螺纹杆，且螺纹杆的一端均通过固定轴承与推板转动连接，所述推板的底部通过限位滑杆与侧板滑动连接，所述推板的一侧通过横杆固定连接有矩形夹板，且横杆与推板滑动嵌套连接，所述矩形夹板的内部沿夹板的水平中线对称嵌设有弧形夹板，且弧形夹板的一侧通过横杆与推板滑动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述限位滑杆共设置有两个，且两个限位滑杆沿底座的水平竖直中线对称。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述推板上开设有便于横杆通过的通孔，且通孔的内径与横杆的直径大小相等。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述横杆的一侧设置有用于限位固定的限位凸块。。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述螺纹杆的一端焊接有便于旋转操作的旋杆。

本实用新型中，首先，该工装夹具上设有矩形夹板，而矩形夹板的内部沿弧形夹板的水平中线对称嵌设有弧形夹板，且弧形夹板与矩形夹板的一端均通过横杆与推板滑动连接，在横杆的端部均设有限位凸块，通过限位凸块能够灵活控制横杆的移动，从而可根据需要，对矩形ITO靶材或者管状ITO靶材进行夹持固定，该夹持装置结构简单，易于操作，实用性较较高，便于推广使用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种ITO靶材打磨用工装夹具的结构示意图；

图2为本实用新型ITO靶材打磨用工装夹具的俯视图；

图3为本实用新型ITO靶材打磨用工装夹具的夹板的侧视图。

图例说明：