[实用新型]一种ITO靶材打磨用工装夹具有效
| 申请号： | 201821150886.8 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN208438091U | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 刘洪浩 | 申请（专利权）人： | 江苏比昂电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/06 |
| 代理公司： | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人： | 冯现伟 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 矩形夹板 横杆 弧形夹板 推板 夹具 本实用新型 工装夹具 滑动连接 侧板 底座 打磨 夹持装置结构 对称设置 夹持固定 灵活控制 嵌套连接 水平中线 限位滑杆 限位凸块 滑动 凸块 对称 移动 | ||
1.一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括工装夹具本体(1)、底座(2) 、矩形夹板(9)和弧形夹板(10)，其特征在于，所述工装夹具本体(1)上设置有底座(2)，所述底座(2)的顶部两侧对称设置有侧板(5)，所述两侧板(5)之间通过限位滑杆(3)固定连接，所述两侧板(5)上均通过螺纹套螺旋转动连接有螺纹杆(4)，且螺纹杆(4)的一端均通过固定轴承与推板(6)转动连接，所述推板(6)的底部通过限位滑杆(3)与侧板(5)滑动连接，所述推板(6)的一侧通过横杆(8)固定连接有矩形夹板(9)，且横杆(8)与推板(6)滑动嵌套连接，所述矩形夹板(9)的内部沿夹板(9)的水平中线对称嵌设有弧形夹板(10)，且弧形夹板(10)的一侧通过横杆(8)与推板(6)滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于，所述限位滑杆(3)共设置有两个，且两个限位滑杆(3)沿底座(2)的水平竖直中线对称。
3.根据权利要求1所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于，所述推板(6)上开设有便于横杆(8)通过的通孔，且通孔的内径与横杆(8)的直径大小相等。
4.根据权利要求1所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于，所述横杆(8)的一侧设置有用于限位固定的限位凸块(7)。
5.根据权利要求1所述的一种ITO靶材打磨用工装夹具，其特征在于，所述螺纹杆(4)的一端焊接有便于旋转操作的旋杆。
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