[实用新型]一种适用于通风柜气体泄漏检测的测试结构

权利要求书

1.一种适用于通风柜气体泄漏检测的测试结构，包括采集单元和检测单元，其特征在于，所述采集单元与所述检测单元之间通过气体采集通路、补偿气体通路或载气通路连接；所述采集单元包括气体采集组件、流量控制组件和通风柜连接组件，所述气体采集组件与通风柜之间通过所述通风柜连接件连接，

所述补偿气体通路的一端连接所述气体采集组件，另一端连接所述气体采集通路，所述载气通路的出气端与所述气体采集通路连接，所述流量控制组件设于所述气体采集通路或所述补偿气体通路上；

在所述气体采集通路或补偿气体通路上设有过滤器；

所述检测单元包括检测器、信号处理器和信号输出单元，所述检测器的输入端与所述采集单元的输出端连接，所述检测器的输出端与所述信号处理器相连接，所述信号处理器与所述信号输出单元之间通过信号线连接。

2.根据权利要求1所述的一种适用于通风柜气体泄漏检测的测试结构，其特征在于，所述通风柜连接件采用用于收集通风柜不同位置气体的集气管。

3.根据权利要求1所述的一种适用于通风柜气体泄漏检测的测试结构，其特征在于，所述气体采集组件采用取气探针，所述取气探针的尾部外表面套接一漏斗状的喷嘴。

4.根据权利要求1所述的一种适用于通风柜气体泄漏检测的测试结构，其特征在于，所述流量控制组件包括第一限流阀、第二限流阀和微型隔膜泵，所述第一限流阀设于所述气体采集通路上，所述第二限流阀设于所述补偿气体通路上，所述第一限流阀或所述第二限流阀的输出端与所述微型隔膜泵连接。

5.根据权利要求3所述的一种适用于通风柜气体泄漏检测的测试结构，其特征在于，所述检测器采用ECD传感器。

6.根据权利要求5所述的一种适用于通风柜气体泄漏检测的测试结构，其特征在于，在所述ECD传感器近所述取气探针的一端连接一气体反应腔，在所述气体反应腔内设有与六氟化硫气体反应的Ni₆₃薄片。

7.根据权利要求6所述的一种适用于通风柜气体泄漏检测的测试结构，其特征在于，在所述气体反应腔与所述取气探针之间设有一变径烧结器。

8.根据权利要求1所述的一种适用于通风柜气体泄漏检测的测试结构，其特征在于，在所述检测单元的外部设置有保护检测单元不受到外部气体污染的枪形外壳。

9.根据权利要求8所述的一种适用于通风柜气体泄漏检测的测试结构，其特征在于，所述枪形外壳上设有六氟化硫浓度指示灯和控制开关，所述外壳的下端设有手柄。