[实用新型]一种利于冷却的旋转靶靶管

说明书

本实用新型公开了一种利于冷却的旋转靶靶管，包括：靶材背管(2)及与靶材背管同轴设置的冷却液出口通道(5)；靶材背管(2)内壁与冷却液出口通道(5)外壁组成的空间为冷却液进口通道(4)；冷却液出口通道(5)一侧通过支架(7)设置有磁棒(8)；冷却液进口通道(4)的内壁设置有用于增强冷却液扰动的凸起结构。本实用新型提供的利于冷却的旋转靶靶管增强了冷却过程中冷却液的扰动，使得冷却过程中温度分布更均匀，同时，提高了冷却液的利用率，节约了能量。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射领域，特别是指一种利于冷却的旋转靶靶管。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单地说，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

在溅射靶材生产过程中会发出大量的热量，如果不及时进行冷却，容易造成局部烧焦或呈现晶粒化现象；现有技术多采用靶管冷却的方式，靶管内壁光滑，在冷却液流动时对冷却液扰动有限，靶管内部径向传热效率低，冷却液没有很好的发挥冷却作用，冷量利用效率低，能量损失大。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种利于冷却的旋转靶靶管，主要目的是解决磁控溅射领域内靶材冷却时冷却效率低，冷量损失大的技术问题。

基于上述目的本实用新型提供的一种利于冷却的旋转靶靶管，包括：靶材背管及与所述靶材背管同轴设置的冷却液出口通道；所述靶材背管内壁与所述冷却液出口通道外壁组成的空间为冷却液进口通道；所述冷却液出口通道外壁一侧通过支架设置有磁棒；其特征在于，所述冷却液进口通道的内壁设置有用于增强冷却液扰动的凸起结构。

较优地，所述凸起结构为设置在所述冷却液进口通道内壁的螺纹凸起。

可选地，所述凸起结构为设置在所述冷却液进口通道内壁的若干凸起棱；若干所述凸起棱沿所述冷却液进口通道内壁轴向延伸，且若干所述凸起棱在所述冷却液进口通道内壁周向均匀分布。

可选地，所述凸起结构横截面为圆形、矩形或三角形。

较优地，所述冷却液进口通道沿所述靶材背管轴向设置有多个弯曲的隔板。

较优地，所述弯曲的隔板表面上设置有点状凸起。

可选地，所述冷却液出口通由金属空腔形成，所述金属空腔横截面为圆形、矩形或三角形。

进一步，所述靶材背管上通过绑定材料绑定有靶材，所述绑定材料为金属材料。

较优地，所述绑定材料为铟。

进一步，所述旋转靶靶管还包括驱动装置，所述旋转靶靶管能够在所述驱动装置的驱动下进行旋转。

较优地，所述冷却液进口通道内壁还设置有柔性页片，所述柔性页片用于增加冷却液的流动阻力。

从上面所述可以看出，本实用新型提供的一种利于冷却的旋转靶靶管，通过在冷却液进口通道内壁增加凸起结构，增强了冷却过程中冷却液的扰动，使得冷却过程中温度分布更均匀，同时，提高了冷却液的利用率，节约了能量。

附图说明

图1为本实用新型实施例一种利于冷却的旋转靶靶管的截面示意图；

图2为本实用新型实施例冷却液进口通道内壁的展开示意图；

图3为本实用新型另一个实施例冷却液进口通道内壁的展开示意图；