[实用新型]一种利于冷却的旋转靶靶管有效
| 申请号： | 201821147027.3 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN208791743U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王正安 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 鲍胜如 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却液出口通道 冷却液 旋转靶 靶材 靶管 背管 冷却 本实用新型 冷却液进口 冷却过程 扰动 内壁 同轴设置 凸起结构 温度分布 磁棒 外壁 支架 节约 | ||
1.一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，包括：靶材背管(2)及与所述靶材背管同轴设置的冷却液出口通道(5)；所述靶材背管(2)内壁与所述冷却液出口通道(5)外壁组成的空间为冷却液进口通道(4)；所述冷却液出口通道(5)外壁一侧通过支架(7)设置有磁棒(8)；所述冷却液进口通道(4)的内壁设置有用于增强冷却液扰动的凸起结构。
2.根据权利要求1所述的一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，所述凸起结构为设置在所述冷却液进口通道(4)内壁的螺纹凸起(11)。
3.根据权利要求1所述的一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，所述凸起结构为设置在所述冷却液进口通道(4)内壁的若干凸起棱(12)；若干所述凸起棱(12)沿所述冷却液进口通道(4)内壁轴向延伸，且若干所述凸起棱(12)在所述冷却液进口通道(4)内壁周向均匀分布。
4.根据权利要求2或3所述的一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，所述凸起结构横截面为圆形、矩形或三角形。
5.根据权利要求1所述的一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，所述冷却液进口通道(4)沿所述靶材背管(2)轴向设置有多个弯曲隔板(9)。
6.根据权利要求5所述的一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，所述弯曲隔板(9)的表面设置有多个点状凸起。
7.根据权利要求1所述的一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，所述冷却液出口通道(5)的横截面为圆形、矩形或三角形。
8.根据权利要求1所述的一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，所述靶材背管(2)通绑定材料(3)绑定有靶材，所述绑定材料(3)为金属材料，所述绑定材料(3)为铟。
9.根据权利要求1所述的一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，所述旋转靶靶管还包括驱动装置，所述旋转靶靶管能够在所述驱动装置的驱动下旋转。
10.根据权利要求1所述的一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，所述冷却液进口通道(4)内壁还设置有柔性页片(10)，所述柔性页片(10)用于增加冷却液的流动阻力。
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