[实用新型]一种电阻蒸发器

说明书

本实用新型公开了一种电阻蒸发器。该电阻蒸发器的蒸发器本体通过法兰接口设置在真空设备内，真空设备用于使蒸发器本体处于真空环境中；水冷电极与蒸发器本体连接，并穿过法兰接口延伸至真空设备外；蒸发器本体包括坩埚、加热器、屏蔽层、控温热电偶和PID控制器；坩埚的侧面的外壁上包裹有加热器，加热器通过水冷电极与真空设备外的加热电源电连接；加热器的外侧对应设置多层屏蔽层；控温热电偶的一端与PID控制器电连接，另一端穿过屏蔽层与加热器对应设置；PID控制器与加热电源电连接。该电阻蒸发器能够对其所处环境的温度进行实时监控，保证了坩埚内温度的稳定，提高了待蒸发物质蒸发速率的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及材料蒸发技术领域，特别是涉及一种电阻蒸发器。

背景技术

在太阳能电池、OLED发光器件等行业对真空蒸发速率的稳定性的要求越来越高。例如，在钙钛矿薄膜太阳能电池制备时，需要碘化铅、碘甲氨两种材料以稳定的蒸发速率达到一定的配比；在制备OLED发光器件时，需要4种有机材料以一定配比混合蒸发，稳定材料的蒸发速率是核心技术之一；在制备柔性太阳能电池及其显示器件时，需要大面积连续蒸镀，蒸镀过程需要长时间稳定速率蒸发材料以满足工业生产的稳定性。而现有的蒸发器的蒸发速率的稳定性不高，还没有蒸发速率的稳定性达到0.1A/s级别的蒸发器出现。

发明内容

基于此，有必要提供一种电阻蒸发器，以提高蒸发速率的稳定性。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

一种电阻蒸发器，包括：蒸发器本体、水冷电极和法兰接口；所述蒸发器本体通过所述法兰接口设置在真空设备内，所述真空设备用于使所述蒸发器本体处于真空环境中；所述水冷电极与所述蒸发器本体连接，并穿过所述法兰接口延伸至所述真空设备外；

所述蒸发器本体包括坩埚、加热器、屏蔽层、控温热电偶和PID控制器；所述坩埚用于放置待蒸发物质；所述坩埚的侧面的外壁上包裹有加热器，所述加热器通过所述水冷电极与所述真空设备外的加热电源电连接；所述加热器的外侧对应设置多层屏蔽层，所述屏蔽层用于吸收所述加热器的外侧散发的热量；所述控温热电偶的一端与所述PID控制器电连接，另一端穿过所述屏蔽层与所述加热器对应设置，用于检测所述加热器的外侧温度；所述PID控制器与所述加热电源电连接。

可选的，所述蒸发器本体还包括校准热电偶；所述校准热电偶的一端与所述PID控制器电连接，另一端插入到所述坩埚内，用于对所述坩埚内部的温度进行校准。

可选的，所述蒸发器本体还包括保护罩；所述保护罩设置在所述加热器的上方，且位于所述坩埚和所述屏蔽层之间，用于防止所述坩埚内的蒸气扩散到所述加热器内。

可选的，所述蒸发器本体还包括坩埚支撑杆；所述坩埚支撑杆的一端固定在所述屏蔽层上，另一端与所述坩埚的底部固定，用于支撑所述坩埚。

可选的，所述蒸发器本体还包括屏蔽支撑杆；所述屏蔽支撑杆的一端固定在所述法兰接口上，另一端与所述屏蔽层固定，用于支撑所述屏蔽层。

可选的，所述加热器的材料为金属钼或金属钽。

可选的，所述坩埚的材料为AL₂O₃。

可选的，所述坩埚支撑杆的材料为AL₂O₃。

可选的，所述屏蔽支撑杆的材料为金属钼。

可选的，所述保护罩的材料为金属钼。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：