[实用新型]一种电阻蒸发器

权利要求书

1.一种电阻蒸发器，其特征在于，包括：蒸发器本体、水冷电极和法兰接口；所述蒸发器本体通过所述法兰接口设置在真空设备内，所述真空设备用于使所述蒸发器本体处于真空环境中；所述水冷电极与所述蒸发器本体连接，并穿过所述法兰接口延伸至所述真空设备外；

所述蒸发器本体包括坩埚、加热器、屏蔽层、控温热电偶和PID控制器；所述坩埚用于放置待蒸发物质；所述坩埚的侧面的外壁上包裹有加热器，所述加热器通过所述水冷电极与所述真空设备外的加热电源电连接；所述加热器的外侧对应设置多层屏蔽层，所述屏蔽层用于吸收所述加热器的外侧散发的热量；所述控温热电偶的一端与所述PID控制器电连接，另一端穿过所述屏蔽层与所述加热器对应设置，用于检测所述加热器的外侧温度；所述PID控制器与所述加热电源电连接。

2.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发器，其特征在于，所述蒸发器本体还包括校准热电偶；所述校准热电偶的一端与所述PID控制器电连接，另一端插入到所述坩埚内，用于对所述坩埚内部的温度进行校准。

3.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发器，其特征在于，所述蒸发器本体还包括保护罩；所述保护罩设置在所述加热器的上方，且位于所述坩埚和所述屏蔽层之间，用于防止所述坩埚内的蒸气扩散到所述加热器内。

4.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发器，其特征在于，所述蒸发器本体还包括坩埚支撑杆；所述坩埚支撑杆的一端固定在所述屏蔽层上，另一端与所述坩埚的底部固定，用于支撑所述坩埚。

5.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发器，其特征在于，所述蒸发器本体还包括屏蔽支撑杆；所述屏蔽支撑杆的一端固定在所述法兰接口上，另一端与所述屏蔽层固定，用于支撑所述屏蔽层。

6.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发器，其特征在于，所述加热器的材料为金属钼或金属钽。

7.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发器，其特征在于，所述坩埚的材料为AL₂O₃。

8.根据权利要求4所述的一种电阻蒸发器，其特征在于，所述坩埚支撑杆的材料为AL₂O₃。

9.根据权利要求5所述的一种电阻蒸发器，其特征在于，所述屏蔽支撑杆的材料为金属钼。

10.根据权利要求3所述的一种电阻蒸发器，其特征在于，所述保护罩的材料为金属钼。