[实用新型]一种晶棒压紧机构有效

专利信息
申请号: 201821143259.1 申请日: 2018-07-19
公开(公告)号: CN209207769U 公开(公告)日: 2019-08-06
发明(设计)人: 甄伟;赵松彬;程霖 申请(专利权)人: 丹东新东方晶体仪器有限公司
主分类号: B28D7/04 分类号: B28D7/04
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 汪海
地址: 118000 辽宁省丹*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 压块 升降驱动机构 晶棒 横梁 本实用新型 安装座 定位块 棒压 种晶 检测技术领域 压力传感器 定位准确 晶体加工 可升降地 位置调整 参考边 可升降 刻痕 下压 压紧 升降 驱动 保证
【权利要求书】:

1.一种晶棒压紧机构,其特征在于:包括升降驱动机构、压块(10)和横梁(3),所述升降驱动机构设置于所述横梁(3)上,所述横梁(3)下侧固设有压块安装座(4),所述压块(10)可升降地设置于所述压块安装座(4)中,且所述压块(10)通过所述升降驱动机构驱动升降,在所述升降驱动机构与所述压块(10)的连接处设有压力传感器(9),在所述压块(10)上设有可升降的定位块(19)。

2.根据权利要求1所述的晶棒压紧机构,其特征在于:所述升降驱动机构包括升降驱动装置(2)、传动组件(5)、丝杠(6)和丝母(8),所述丝母(8)通过所述升降驱动装置(2)驱动旋转,且所述升降驱动装置通过所述传动组件(5)传递转矩,所述丝杠(6)上部与所述丝母(8)配合,所述丝杠(6)下端穿过所述横梁(3)后通过所述压力传感器(9)与所述压块(10)相连。

3.根据权利要求2所述的晶棒压紧机构,其特征在于:所述升降驱动装置(2)为电机,所述传动组件包括两个相啮合的齿轮,其中主动齿轮安装于所述电机的输出轴上,从动齿轮与所述丝母(8)固连,且所述从动齿轮中部设有供所述丝杠(6)穿过的通孔。

4.根据权利要求2所述的晶棒压紧机构,其特征在于:在所述横梁(3)上侧设有一个驱动安装座(7),所述升降驱动装置(2)、传动组件(5)和丝母(8)均设置于所述驱动安装座(7)上。

5.根据权利要求4所述的晶棒压紧机构,其特征在于:所述横梁(3)上设有一个防护罩(13),所述驱动安装座(7)以及升降驱动装置(2)、传动组件(5)、丝母(8)和丝杠(6)上端均设置于所述防护罩(13)中。

6.根据权利要求1所述的晶棒压紧机构,其特征在于:所述压块安装座(4)内的两侧均设有升降导轨(12),所述压块(10)两侧均设有升降滑块(11)沿着对应升降导轨(12)移动。

7.根据权利要求1所述的晶棒压紧机构,其特征在于:所述压块(10)上设有定位块组件,所述定位块组件包括压杆(18)、定位块(19)和复位弹簧(20),在所述压块(10)下侧设有凹槽,所述定位块(19)容置于所述凹槽中,所述压杆(18)可升降地设置于所述压块(10)中,且所述压杆(18)下端与所述定位块(19)固连,在所述压杆(18)上部套设有复位弹簧(20)。

8.根据权利要求1所述的晶棒压紧机构,其特征在于:所述横梁(3)可移动地安装于一个支架(1)上,在所述支架(1)上端两侧均沿前后方向设有调整导轨(15),在所述横梁(3)两端下侧均设有调整滑块(14)沿着对应调整导轨(15)移动。

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