[实用新型]用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置

说明书

本实用新型提供了一种用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该用于片材双面沉积涂层的夹具包括夹具本体和第一驱动件；夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与固定件连接的第二驱动件，第二驱动件能够随第一驱动件转动，从而带动片材翻转。本实用新型的夹具利用磁电感应力或磁力等作用力在不开炉情况下实现片材的翻转，在不改变炉子现有结构的前提下实现了片材双面涂层的连续沉积，使用该夹具双面沉积涂层效率高、成本低且易于实施。本实用新型还提供一种沉积装置，包括炉体，上述夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体外，该沉积装置适用于对片材双面进行连续的涂层沉积，效率高，生产周期短。

技术领域

本实用新型涉及涂层沉积辅助设备技术领域，尤其是涉及一种用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置。

背景技术

在热丝气相沉积法制备涂层工艺中，例如制备金刚石涂层工艺中，有时需要在片材的双面沉积金刚石薄膜。目前并没有专门针对双面沉积涂层的沉积设备，受限于现有设备的结构，往往一次只能在片材正对热丝和气源的一面沉积上涂层，而另一面由于活性物质无法到达而不能沉积上涂层。

针对这一问题，现有技术一般采取以下手段：

在炉子设计的初期或后期改造使气路丝炉子的结构更适用于片材双面沉积，即上下都进气，虽然这种结构的炉子能够满足片材双面沉积涂层的要求，但这种改造后的炉子一般就只能用作生产双面涂层的片材，不能再去生产只需一面沉积的产品(例如铣刀)，降低了炉子的适用性，而且采用此种方式需要改变炉子现有结构，成本高、复杂不易于实施。

另外一种方式是先沉积一面然后取出翻转片材沉积另一面，这种情况下往往需要重新开炉将片材取出重新装夹，即原位翻转180度。这种方法生产效率较低，将大大地增加生产周期，主要是需要重新抽真空，如果热丝在开炉过程中断裂，则需要重新上丝和碳化。

因此，所期望的是提供一种夹具，能够解决上述问题中的至少一个。

有鉴于此，特提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的第一目的在于提供一种用于片材双面沉积涂层的夹具，利用磁电感应力或磁力等作用力在不开炉情况下实现片材的翻转，在不改变炉子现有结构的前提下实现了片材双面涂层的连续沉积，使用该夹具双面沉积涂层效率高、成本低且易于实施。

本实用新型的第二目的在于提供一种沉积装置，包括炉体，上述用于片材双面沉积涂层的夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体外。使用该沉积装置对片材双面进行涂层沉积的效率高，生产周期短。

为解决上述技术问题，本实用新型特采用如下技术方案：

第一方面，提供了一种用于片材双面沉积涂层的夹具，包括夹具本体和第一驱动件；所述夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与所述固定件连接的第二驱动件，所述第二驱动件能够随所述第一驱动件转动，从而带动片材翻转。

优选地，在本实用新型技术方案的基础之上，所述第一驱动件和所述第二驱动件均独立地为磁性件，优选为磁铁，进一步优选为铝镍钴磁铁。

优选地，在本实用新型技术方案的基础之上，所述第一驱动件为磁铁，所述第二驱动件为铁磁金属件；或，所述第一驱动件为铁磁金属件，所述第二驱动件为磁铁。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述夹具本体包括底座、设置于所述底座上并与所述底座垂直的第一支撑杆以及设置于所述第一支撑杆上并与所述底座平行的第二支撑杆；

所述第二支撑杆的一端设置有所述固定件，所述第二支撑杆的另一端设置有所述第二驱动件。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述第一支撑杆远离所述底座的一端设置有承载件，所述承载件包括承载环以及沿所述承载环轴向突出的突出部，所述第二支撑杆穿入所述承载环并放置于所述突出部上。