[实用新型]用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置

权利要求书

1.一种用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，包括夹具本体和第一驱动件；所述夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与所述固定件连接的第二驱动件，所述第二驱动件能够随所述第一驱动件转动，从而带动片材翻转。

2.根据权利要求1所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一驱动件和所述第二驱动件均独立地为磁铁。

3.根据权利要求1所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一驱动件为磁铁，所述第二驱动件为铁磁金属件；或，所述第一驱动件为铁磁金属件，所述第二驱动件为磁铁。

4.根据权利要求1-3任一项所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述夹具本体包括底座、设置于所述底座上并与所述底座垂直的第一支撑杆以及设置于所述第一支撑杆上并与所述底座平行的第二支撑杆；

所述第二支撑杆的一端设置有所述固定件，所述第二支撑杆的另一端设置有所述第二驱动件。

5.根据权利要求4所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一支撑杆远离所述底座的一端设置有承载件，所述承载件包括承载环以及沿所述承载环轴向突出的突出部，所述第二支撑杆穿入所述承载环并放置于所述突出部上。

6.根据权利要求5所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述突出部包括分别位于所述第二支撑杆两侧的第一端面和第二端面，所述第一端面和所述第二端面位于同一高度上；所述第二支撑杆的外壁设有突出的限位销，使所述第二支撑杆转动后能够搭设于所述第一端面或所述第二端面。

7.根据权利要求4所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一支撑杆包括第一空心管和套设于所述第一空心管内的第一支杆，所述第一空心管的外壁设有第一紧固件，通过所述第一紧固件能够调节所述第一支撑杆的长度。

8.根据权利要求4所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第二支撑杆包括第二空心管和套设于所述第二空心管内的第二支杆，所述第二空心管的外壁设有第二紧固件，通过所述第二紧固件能够调节所述第二支撑杆的长度。

9.根据权利要求1-3任一项所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述固定件为固定夹，所述固定夹包括上夹板和下夹板，片材位于所述上夹板和所述下夹板之间，所述上夹板和所述下夹板通过第三紧固件紧固。

10.一种沉积装置，其特征在于，包括炉体，权利要求1-9任一项所述的用于片材双面沉积涂层的夹具的所述夹具本体位于所述炉体内，所述第一驱动件位于所述炉体外。