[实用新型]一种镀膜玻璃生产设备

权利要求书

1.一种镀膜玻璃生产设备，其特征在于，包括按生产顺序依次设置的清洗室、进口室、溅射室以及出口室，所述清洗室与所述进口室之间设有第一输送辊道，所述进口室至所述出口室之间的所有设备直接连接并内置第二输送辊道；

所述清洗室设有玻璃基片进口、玻璃基片出口、洗涤水进口以及污水出口；

所述溅射室包括按生产顺序依次设置的第一溅射室、第二溅射室以及第三溅射室，所述第一溅射室和所述第三溅射室的内部设有气体隔离装置，所述第一溅射室和所述第三溅射室的盖板上设有抽真空装置，所述第二溅射室的内部设有阴极靶材以及冷却装置。

2.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产设备，其特征在于，所述清洗室内设有用于风干玻璃基片的吹风机。

3.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产设备，其特征在于，还包括成品检测室，所述成品检测室与所述出口室之间设有第三输送辊道，所述成品检测室上设有成品出口。

4.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产设备，其特征在于，所述进口室与所述溅射室之间、所述出口室与所述溅射室之间以及相邻的两个所述溅射室之间均设有抽气孔，且所述进口室、所述出口室以及各所述溅射室的盖板边缘均设有密封圈。

5.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产设备，其特征在于，所述第二输送辊道包括若干辊子，各所述辊子呈水平状设置于所述进口室至所述出口室之间的所有设备的底部，所述输送辊道利用电机驱动。

6.根据权利要求5所述的镀膜玻璃生产设备，其特征在于，所述气体隔离装置包括横向隔板和纵向隔板，所述横向隔板位于所述第二输送辊道的上方，所述纵向隔板上端达到所述溅射室的顶部，所述纵向隔板的下端达到所述横向隔板。

7.根据权利要求5所述的镀膜玻璃生产设备，其特征在于，所述辊子之间设有T形隔板。

8.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产设备，其特征在于，所述抽真空装置为分子泵。

9.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产设备，其特征在于，所述第二溅射室的盖板下方设有用于安装所述阴极靶材的固定件，所述固定件包括四个端头，每两个所述端头为一组，两组所述端头分别位于所述第二溅射室的盖板的两端。

10.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产设备，其特征在于，所述冷却装置包括设置于所述第二溅射室下部的冷却水管道，所述冷却水管道与外部水源接通。