[实用新型]一种镀膜玻璃生产设备

说明书

本实用新型提供一种镀膜玻璃生产设备，包括清洗室、进口室、溅射室以及出口室，清洗室与进口室之间设有第一输送辊道，进口室至出口室之间的所有设备直接连接并内置第二输送辊道；清洗室上设有玻璃基片进口、玻璃基片出口、洗涤水进口以及污水出口；溅射室包括第一溅射室、第二溅射室以及第三溅射室，第一溅射室和第三溅射室的内部设有气体隔离装置，第一溅射室和第三溅射室的盖板上设有抽真空装置，第二溅射室的内部设有阴极靶材以及冷却装置。基于上述结构，该镀膜玻璃生产设备具有结构合理、隔离系数高、真空环境好、冷却效果佳等优点，并且由于设有清洗室，从而能够保证镀膜效果，提升产品质量，提高厂商的经济效益。

技术领域

本实用新型涉及玻璃生产技术领域，尤其涉及一种镀膜玻璃生产设备。

背景技术

镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。

镀膜玻璃按产品的不同特性和用量主要有两类：一是热反射玻璃，热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有适当的透射率，对红外线有较高的反射率，对紫外线有较高吸收率，因此，也称为阳光控制玻璃，主要用于建筑和玻璃幕墙；二是低辐射玻璃(Low-E玻璃)，低辐射玻璃是在玻璃表面镀由多层银、铜或锡等金属或其化合物组成的薄膜系，产品对可见光有较高的透射率,对红外线有很高的反射率，具有良好的隔热性能，主要用于建筑和汽车、船舶等交通工具，由于膜层强度较差，一般都制成中空玻璃使用。

镀膜玻璃的生产方法主要是利用磁控溅射镀膜设备在玻璃上进行溅射镀膜。对于磁控溅射镀膜设备来说，一般包含溅射室、输送辊道等组成部分，溅射室内部是处在高真空环境中。镀膜玻璃产品质量的好坏与镀膜设备的配置、内部真空环境、工艺气体稳定性等因素有很大的关系。

现有的镀膜设备存在安装复杂、灵活性差、隔离系数低、真空环境差、冷却效果低等问题，并且都没有设置针对玻璃基片的自动清洁环节，因此容易造成镀膜效果差、产品质量不稳定等问题，给厂商的经济效益带来了不利影响。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种镀膜玻璃生产设备，具有结构合理、隔离系数高、真空环境好、冷却效果佳等优点，并且设有清洗室，能够保证镀膜效果，提升产品质量，提高厂商的经济效益。

基于此，本实用新型提供了一种镀膜玻璃生产设备，包括按生产顺序依次设置的清洗室、进口室、溅射室以及出口室，所述清洗室与所述进口室之间设有第一输送辊道，所述进口室至所述出口室之间的所有设备直接连接并内置第二输送辊道；

所述清洗室设有玻璃基片进口、玻璃基片出口、洗涤水进口以及污水出口；

所述溅射室包括按生产顺序依次设置的第一溅射室、第二溅射室以及第三溅射室，所述第一溅射室和所述第三溅射室的内部设有气体隔离装置，所述第一溅射室和所述第三溅射室的盖板上设有抽真空装置，所述第二溅射室的内部设有阴极靶材以及冷却装置。

作为优选方案，所述清洗室内设有用于风干玻璃基片的吹风机。

作为优选方案，还包括成品检测室，所述成品检测室与所述出口室之间设有第三输送辊道，所述成品检测室上设有成品出口。

作为优选方案，所述进口室与所述溅射室之间、所述出口室与所述溅射室之间以及相邻的两个所述溅射室之间均设有抽气孔，且所述进口室、所述出口室以及各所述溅射室的盖板边缘均设有密封圈。

作为优选方案，所述第二输送辊道包括若干辊子，各所述辊子呈水平状设置于所述进口室至所述出口室之间的所有设备的底部，所述输送辊道利用电机驱动。

作为优选方案，所述气体隔离装置包括横向隔板和纵向隔板，所述横向隔板位于所述第二输送辊道的上方，所述纵向隔板上端达到所述溅射室的顶部，所述纵向隔板的下端达到所述横向隔板。