[实用新型]简易晶圆视觉自动分类拾取装置有效
| 申请号： | 201821086345.3 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN208580718U | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 粟子谷;贾春英 | 申请（专利权）人： | 广州市斯睿特智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511340 广东省广州市增城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 拾取机构 相机 升降机构 横向架 上料平台 纵向架 底座 拾取装置 芯片筛选 自动分类 输出端 晶圆 简易 视觉 接入控制装置 本实用新型 滑动安装 结构实现 晶圆图像 控制装置 图像识别 向下移动 芯片拾取 自动完成 采集 芯片 移动 | ||
1.一种简易晶圆视觉自动分类拾取装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上安装有纵向架（2），所述纵向架（2）上滑动安装有横向架（3），所述横向架（3）上安装有升降机构（4），所述升降机构（4）的输出端安装有相机（5）与拾取机构（6），所述底座（1）上还安装有上料平台（7），所述上料平台（7）与相机（5）、拾取机构（6）的下端相对应，所述相机（5）还接入控制装置。
2.根据权利要求1所述的简易晶圆视觉自动分类拾取装置，其特征在于：所述底座（1）为控制柜，所述控制装置安装在所述控制柜中。
3.根据权利要求1或2所述的简易晶圆视觉自动分类拾取装置，其特征在于：所述底座（1）上还设有芯片托盘（8），所述芯片托盘（8）置于上料平台（7）的一侧上。
4.根据权利要求1所述的简易晶圆视觉自动分类拾取装置，其特征在于：所述纵向架（2）上安装有第一滑轨，所述横向架（3）的两端上安装有与第一滑轨相配合的第一滑块，所述横向架（3）上安装有第二滑轨，所述升降机构（4）的上部安装有与第二滑轨相配合的第二滑块；所述横向架（3）的两端、以及升降机构（4）上均安装有各自的动力电机，所述动力电机均接入控制装置。
5.根据权利要求1或4所述的简易晶圆视觉自动分类拾取装置，其特征在于：拾取机构（6）包括气腔与吸盘，所述吸盘与气腔相连通，所述气腔还与真空气源相连通。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
