[实用新型]一种安全可靠的离子溅射仪

说明书

本实用新型公开了一种安全可靠的离子溅射仪，包括溅射仪主体，所述溅射仪主体的顶部一侧固定设置有溅射底座，所述溅射底座的边缘处固定设置有限位凹槽，所述溅射底座的顶部固定设置有溅射室，所述溅射室的外表面罩合有保护壳，所述保护壳的内表面底部边缘处设置有限位凸起；在该溅射仪的溅射室外表面设置有一层保护壳，因为溅射室为透明的玻璃结构，在使用时火车运输过程中容易发生磕碰，有可能导致溅射室发生开裂或者破碎，通过保护壳的作用提高了了该溅射仪的使用安全性，在该溅射仪主体的底部固定设置有一个缓冲底座，在使用该仪器时，搬运过程中，放置时有可能不注意，导致用力过大，对仪器的内部线路产生影响，提高了该仪器的使用寿命。

技术领域

本实用新型属于溅射仪技术领域，具体涉及一种安全可靠的离子溅射仪。

背景技术

离子溅射仪形成干涉膜是增进相间衬度显示组织的新方法。离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极(靶)和阳极(试样)间电压的加速作用下，荷正电的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化;形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜。所以说这种形成干涉膜的方法与湃澎霍夫蒸发的方法相似。通常8英寸晶圆，12英寸晶圆等常用到离子溅射仪。

现有的离子溅射仪，在使用时，通常在运输时，因其溅射室通常为玻璃结构，若发生磕碰，容易导致仪器损坏，且在使用过程中，若搬放不注意，也会对仪器的内部产生损伤的问题，为此我们提出一种安全可靠的离子溅射仪。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种安全可靠的离子溅射仪，以解决上述背景技术中提出的现有的离子溅射仪，在使用时，通常在运输时，因其溅射室通常为玻璃结构，若发生磕碰，容易导致仪器损坏，且在使用过程中，若搬放不注意，也会对仪器的内部产生损伤的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种安全可靠的离子溅射仪，包括溅射仪主体，所述溅射仪主体的顶部一侧固定设置有溅射底座，所述溅射底座的边缘处固定设置有限位凹槽，所述溅射底座的顶部固定设置有溅射室，所述溅射室的外表面罩合有保护壳，所述保护壳的内表面底部边缘处设置有限位凸起。

优选的，所述溅射仪主体的底部固定设置有缓冲座，所述缓冲座包括缓冲弹簧、缓冲杆、吸盘和缓冲器，所述缓冲器固定套合在缓冲杆的顶部，所述缓冲杆的外侧套合有缓冲弹簧，所述缓冲杆的底部固定设置有吸盘。

优选的，所述溅射仪主体的前表面设置有仪表盘。

优选的，所述保护壳与溅射底座通过限位凹槽与限位凸起卡合固定。

优选的，所述溅射仪主体的后表面设置有插线接头。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）在该溅射仪的溅射室外表面设置有一层旋转卡合的保护壳，因为溅射室为透明的玻璃结构，在使用时火车运输过程中容易发生磕碰，有可能导致溅射室发生开裂或者破碎，通过保护壳的作用提高了了该溅射仪的使用安全性；

（2）在该溅射仪主体的底部固定设置有一个缓冲底座，在使用该仪器时，搬运过程中，放置时有可能不注意，导致用力过大，对仪器的内部线路产生影响，提高了该仪器的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的俯视结构示意图；

图3为本实用新型缓冲底座的结构示意图；

图4为本实用新型吸盘的结构示意图；

图5为本实用新型保护壳的结构示意图；