[实用新型]一种安全可靠的离子溅射仪有效
| 申请号： | 201821086329.4 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN208395264U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 张乔栋;孙健;蔡道库;王倩;袁泉 | 申请（专利权）人： | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223002 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 固定设置 保护壳 溅射室 溅射仪 底座 离子溅射仪 本实用新型 使用安全性 玻璃结构 底部边缘 缓冲底座 火车运输 内部线路 使用寿命 室外表面 外表面罩 边缘处 内表面 透明的 磕碰 凸起 搬运 破碎 | ||
【权利要求书】：
1.一种安全可靠的离子溅射仪，包括溅射仪主体（8），其特征在于：所述溅射仪主体（8）的顶部一侧固定设置有溅射底座（2），所述溅射底座（2）的边缘处固定设置有限位凹槽（10），所述溅射底座（2）的顶部固定设置有溅射室（7），所述溅射室（7）的外表面罩合有保护壳（1），所述保护壳（1）的内表面底部边缘处设置有限位凸起（11）。
2.根据权利要求1所述的一种安全可靠的离子溅射仪，其特征在于：所述溅射仪主体（8）的底部固定设置有缓冲座（12），所述缓冲座（12）包括缓冲弹簧（3）、缓冲杆（4）、吸盘（5）和缓冲器（6），所述缓冲器（6）固定套合在缓冲杆（4）的顶部，所述缓冲杆（4）的外侧套合有缓冲弹簧（3），所述缓冲杆（4）的底部固定设置有吸盘（5）。
3.根据权利要求1所述的一种安全可靠的离子溅射仪，其特征在于：所述溅射仪主体（8）的前表面设置有仪表盘（9）。
4.根据权利要求1所述的一种安全可靠的离子溅射仪，其特征在于：所述保护壳（1）与溅射底座（2）通过限位凹槽（10）与限位凸起（11）卡合固定。
5.根据权利要求1所述的一种安全可靠的离子溅射仪，其特征在于：所述溅射仪主体（8）的后表面设置有插线接头。
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