[实用新型]分子束外延系统的双密封插板阀

说明书

本实用新型属于电子元器件技术领域，涉及一种分子束外延系统的双密封插板阀，连接于低温泵与真空腔室之间，包括具有两个法兰接口的阀体、位于前一个法兰接口内的第一阀板和位于后一个法兰接口内的第二阀板，所述第一阀板和所述第二阀板在驱动装置的作用下分别独立动作，所述第一阀板或所述第二阀板关闭时都会将阀体的内腔完全隔断。本双密封插板阀相比单插板阀有更小的漏气风险，能够保证分子束外延系统在工作时的密封性。

技术领域

本实用新型涉及电子元器件技术领域，特别涉及一种分子束外延系统的双密封插板阀。

背景技术

分子束外延(MBE)的超高真空需要低温泵进行维持，随着低温泵使用时间的增长，泵内冷凝和吸附的气体数量增加，冷板温度会升高，抽气速率会下降。因此，有必要定期对低温泵进行保养和再生，从而去除累积的气体。保养和再生期间，需要关闭插板阀从而隔绝超高真空生长室和大气，但是随着插板阀使用时间的增加，密封处会沉积或吸附一定量的物质，影响插板阀密封性能，而插板阀两侧较大的气压差更易导致插板阀漏气现象。

由于低温泵与超高真空腔室之间普遍只安装单个插板阀。随着使用时间的增加，插板阀密封处的沉积物或吸附的颗粒物质会影响密封性能。在低温泵保养和再生期间，超高真空(10^-10Torr或更低)和大气压之间巨大的压差容易导致漏气现象的发生，而大气的进入对MBE生长室超高真空环境的维持有很大影响。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种分子束外延系统的双密封插板阀，有效的避免了漏气现象的发生。

本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种分子束外延系统的双密封插板阀，连接于低温泵与真空腔室之间，包括具有两个法兰接口的阀体、位于前一个法兰接口内的第一阀板和位于后一个法兰接口内的第二阀板，所述第一阀板和所述第二阀板在各自的驱动装置的作用下分别独立动作，所述第一阀板或所述第二阀板关闭时都会将阀体的内腔完全隔断。

具体的，所述驱动装置为气动开关。

具体的，所述阀体上设有一个连接真空泵的吸气管道，所述吸气管道在阀体内壁的开口位于第一阀板和第二阀板之间。

进一步的，所述吸气管道上设有真空阀。

进一步的，所述驱动装置和真空阀通过控制器进行时序控制。

采用上述技术方案，本实用新型技术方案的有益效果是：

本双密封插板阀相比单插板阀有更小的漏气风险，能够保证分子束外延系统在工作时的密封性。

附图说明

图1为实施例分子束外延系统的双密封插板阀的示意图。

图中标记为：

1-阀体，11-法兰接口，12-法兰接口；

2a-第一阀板，2b-第二阀板；

3a-驱动装置，3b-驱动装置；

4-真空泵；

5-吸气管道，51-真空阀。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：