[实用新型]分子束外延系统的双密封插板阀有效
| 申请号： | 201821076589.3 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN208595247U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈意桥;陈超;赵曼曼 | 申请（专利权）人： | 苏州焜原光电有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阀板 分子束外延系统 法兰接口 插板阀 双密封 阀体 本实用新型 电子元器件 单插板阀 独立动作 驱动装置 真空腔室 低温泵 密封性 漏气 隔断 内腔 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种分子束外延系统的双密封插板阀，连接于低温泵与真空腔室之间，其特征在于：包括具有两个法兰接口的阀体、位于前一个法兰接口内的第一阀板和位于后一个法兰接口内的第二阀板，所述第一阀板和所述第二阀板在驱动装置的作用下分别独立动作，所述第一阀板或所述第二阀板关闭时都会将阀体的内腔完全隔断。
2.根据权利要求1所述的双密封插板阀，其特征在于：所述驱动装置为气动开关。
3.根据权利要求1所述的双密封插板阀，其特征在于：所述阀体上设有一个连接真空泵的吸气管道，所述吸气管道在阀体内壁的开口位于第一阀板和第二阀板之间。
4.根据权利要求3所述的双密封插板阀，其特征在于：所述吸气管道上设有真空阀。
5.根据权利要求4所述的双密封插板阀，其特征在于：所述驱动装置和真空阀通过控制器进行时序控制。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州焜原光电有限公司，未经苏州焜原光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821076589.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种面接触保持机构及滑板式调节阀
- 下一篇：一种电动铸铁明杆闸阀
