[实用新型]一种钛旋转靶有效
| 申请号： | 201821065048.0 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN208604200U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张晓辉;丁拉会 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市杰特瑞金属材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 石淑珍 |
| 地址： | 721000 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直径段 辅助部 钛靶 外侧设置 外螺纹 顺次连接 钛旋转靶 内螺纹 本实用新型 台阶状结构 对称结构 管状结构 两侧端部 配合连接 一体结构 主体两侧 高纯钛 装配 | ||
1.一种钛旋转靶，其特征在于，包括第一铜辅助部(1)、钛靶主体(2)、第二铜辅助部(3)，所述第一铜辅助部(1)、钛靶主体(2)、第二铜辅助部(3)顺次连接形成管状结构，所述第一铜辅助部(1)和第二铜辅助部(3)为对称结构，所述第一铜辅助部(1)为台阶状结构，包括第一直径段(11)、第二直径段(12)、第三直径段(13)，所述第一直径段(11)、第二直径段(12)、第三直径段(13)顺次连接为一体结构，所述第一直径段(11)的外径小于第二直径段的外径，所述第一直径段(11)的内径大于第二直径段(12)的内径，所述第一直径段(11)外侧设置有外螺纹，所述第三直径段(13)外径小于第二直径段(12)外径，所述第三直径段(13)内径等于第二直径段(12)外径，所述第三直径段(13)外侧设置有外螺纹，所述钛靶主体(2)采用高纯钛材料制成，所述钛靶主体(2)为T字形结构，其两端延伸的凸起环(21)套设于第三直径段(13)外，所述钛靶主体(2)两侧端部设置有内螺纹，且所述钛靶主体(2)两侧端部设置的内螺纹和第三直径段(13)外侧设置的外螺纹配合连接。
2.如权利要求1所述一种钛旋转靶，其特征在于，所述第一铜辅助部(1)外侧左端部设置有倒角，所述第二铜辅助部(3)外侧右端部设置有倒角。
3.如权利要求2所述一种钛旋转靶，其特征在于，所述钛靶主体(2)长度为600mm。
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