[实用新型]一种冷却站

说明书

本实用新型提供了一种冷却站，包括：冷却腔体；用于放置待冷却物的支架，所述支架设置于所述冷却腔体内；以及用于侦测所述待冷却物是否在预设位置范围内的侦测元件，所述侦测元件设置于所述冷却腔体内。本实用新型通过在冷却腔体内设置侦测元件，其用于侦测待冷却物是否在预设位置范围内，以减少晶圆位置偏移造成晶圆破损，并降低机台宕机率，提高晶圆生产效率。

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种冷却站。

背景技术

随着科技的快速发展，高科技电子产品使用于日常生活已是相当普遍，例如手机、主板、数字相机等电子产品，该类电子产品内部皆装设并布满许多半导体器件，而半导体器件的材料来源就是晶圆，为了能够满足各式高科技电子产品的大量需求，故晶圆代工产业皆以如何更加快速且精确制造出晶圆为目标，不断地进行研发与改良突破。

在晶圆的加工过程中，晶圆从工作腔体中出来时温度一般在80℃至170℃之间，需要经过冷却站将温度冷却至一定范围(例如是≤50℃)才可以进行后续操作。而当冷却站整体发生倾斜未被及时纠正，以及，晶圆通过传送手臂放入冷却站或自冷区站取出时位置发生偏移，都会造成晶圆之间相互发生摩擦、碰撞或与冷却站的腔体内壁发生碰撞，从而造成晶圆破损，严重时甚至引起机台宕机，影响晶圆生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种冷却站，以减少因晶圆位置偏移造成晶圆破损，并降低机台宕机率，提高晶圆生产效率。

为了解决上述问题，本实用新型提出了一种冷却站，包括：冷却腔体；用于放置待冷却物的支架，所述支架设置于所述冷却腔体内；以及用于侦测所述待冷却物是否在预设位置范围内的侦测元件，所述侦测元件设置于所述冷却腔体内。

可选的，所述冷却腔体包括：相对设置的上内壁和下内壁；以及连接所述上内壁和下内壁多个侧内壁。

可选的，所述支架包括：多个凸起部分，所述多个凸起部分分别设置于所述冷却腔体的多个侧内壁上，所述多个凸起部分共同构成一承载面，所述承载面用于放置所述待冷却物。

可选的，所述侦测元件包括：多对光电传感器，每对光电传感器分别设置在所述冷却腔体的上内壁和下内壁，每对光电传感器的连线均垂直于所述承载面，待冷却物超出预设位置范围时至少一对光电传感器的信号被阻断。

可选的，所述待冷却物为晶圆，每三个凸起部分共同构成一承载面。

可选的，所述侦测元件包括至少为3对光电传感器。

可选的，所述冷却腔体为长方体结构。

可选的，所述冷却腔体设置有用于待冷却物出入的开口。

可选的，还包括：用于显示所述侦测元件状态的显示元件，所述显示元件设置于所述冷却腔体上。

可选的，所述冷却腔体的材质为不锈钢。

由于采用了以上技术方案，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的一种冷却站，通过在冷却腔体内设置侦测元件，其用于侦测待冷却物(例如是晶圆)是否在预设位置范围内，以减少晶圆位置偏移造成晶圆破损，并降低机台宕机率，提高晶圆生产效率。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的冷却站的示意图；

图2为本实用新型一实施例的光电传感器的位置示意图。

附图标记说明：

100-冷却腔体；101-上内壁；102-下内壁；104-后侧内壁；105-左侧内壁；106-右侧内壁；

200-侦测元件；210-光电传感器；