[实用新型]一种伽马能谱仪进样取样装置有效
| 申请号： | 201821034441.3 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN208421252U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 杨雪松;张慧;朱威莉;李锋 | 申请（专利权）人： | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01T7/00 | 分类号： | G01T7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223002 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 取样箱 伸缩杆 晶圆 卡板 取样装置 伽马能谱 进样 卡槽 取样 底座 本实用新型 外部电源线 固定设置 两端设置 内部固定 内部设置 移动过程 干燥孔 杆头 取出 污染 | ||
【权利要求书】：
1.一种伽马能谱仪进样取样装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的内部固定设置有伸缩杆（2），所述伸缩杆（2）的杆头固定设置有取样箱（3），所述取样箱（3）的内部开设有卡槽（4），所述卡槽（4）的内部设置有空心卡板（5），所述取样箱（3）的内部两端设置有干燥条（6），所述伸缩杆（2）与外部电源线性连接，所述空心卡板（5）的内部设置有晶圆（7）。
2.根据权利要求1所述的一种伽马能谱仪进样取样装置，其特征在于：所述干燥条（6）设置成网状结构，且干燥条（6）的内部充满吸水硅胶，所述干燥条（6）的底端插入到取样箱（3）的底部，且干燥条（6）的顶端伸出取样箱（3）的顶部，所述干燥条（6）的顶端设置成空心半圆形结构。
3.根据权利要求1所述的一种伽马能谱仪进样取样装置，其特征在于：所述卡槽（4）对称分布在取样箱（3）内部两端，且每一端的卡槽（4）上下均匀分布成五层。
4.根据权利要求1所述的一种伽马能谱仪进样取样装置，其特征在于：所述卡槽（4）的内部固定设置有干燥孔（8）。
5.根据权利要求1所述的一种伽马能谱仪进样取样装置，其特征在于：所述取样箱（3）的外表面固定设置有翻盖（9），所述取样箱（3）与翻盖（9）通过铰链连接固定。
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