[实用新型]一种MPCVD设备基板台冷却结构

权利要求书

1.一种MPCVD设备基板台冷却结构，包括基板台支撑台、设置有冷却液出口的冷却管，还包括设置于冷却液出口处的喷头，其特征在于所述喷头的一端连接冷却管，另一端设置有截面面积基本覆盖基板台支撑台底面面积的喷口，所述喷头与基板台支撑台之间还有缝隙，供冷却液流出。

2.根据权利要求1所述的MPCVD设备基板台冷却结构，其特征在于还包括支撑台连接件、密封件、冷却液排出管接头，所述密封件用于基板台支撑台和支撑台连接件的密封，所述冷却液排出管接头设置于支撑台连接件的底部。

3.根据权利要求1所述的MPCVD设备基板台冷却结构，其特征在于所述喷头为漏斗型，所述喷口为漏斗的大端通口。

4.根据权利要求1所述的MPCVD设备基板台冷却结构，其特征在于所述喷头为漏斗型，在漏斗的大端口设置有喷口盖，所述喷口盖上设置有均匀分布的小通孔。

5.根据权利要求1所述的MPCVD设备基板台冷却结构，其特征在于所述喷头与基板台支撑台之间的缝隙宽度为2～15mm。

6.根据权利要求2所述的MPCVD设备基板台冷却结构，其特征在于所述喷头与冷却管之间活动连接，以便于调整喷口与基板台支撑台底面的距离。

7.根据权利要求6所述的MPCVD设备基板台冷却结构，其特征在于所述喷头与冷却管之间活动连接为螺纹连接，喷口与基板台支撑台底面的距离通过连接螺纹进行调节。