[实用新型]多膜层连续镀膜设备

权利要求书

1.多膜层连续镀膜设备，其特征在于，包括依次连接的表面处理室、多膜层镀膜室和出片真空室，表面处理室、多膜层镀膜室和出片真空室内均设有工件往复移动机构；工件往复移动机构设于基片架的下方，基片架的上方设有磁导向机构，工件往复移动机构包括主动驱动托轮和从动支承轮，主动驱动托轮和从动支承轮分别设于真空室内的安装支架上，相邻的两个主动驱动托轮之间分布有多个从动支承轮，在主动驱动托轮的带动下，基片架沿从动支承轮和磁导向机构进行往复移动。

2.根据权利要求1所述的多膜层连续镀膜设备，其特征在于，所述基片架的下部设有支撑方钢，支撑方钢朝向工件往复移动机构的一侧设有导向槽，导向槽内设有齿条和压缩弹簧，工件往复移动机构中的主动驱动托轮上设有齿轮，齿条的底面与齿轮相配合，齿条的顶面通过压缩弹簧与支撑方钢相接；支撑方钢的侧面设有长孔，齿条的侧面设有定位销，定位销活动于长孔内。

3.根据权利要求2所述的多膜层连续镀膜设备，其特征在于，所述工件往复移动机构中，主动驱动托轮包括动力输入轴、动力输入座、第一滚轮轴、第一前滚轮和第一后滚轮，动力输入座设于安装支架上，动力输入轴设于动力输入座中，动力输入轴的一端与第一滚轮轴连接，第一前滚轮和第一后滚轮分别通过轴承安装于第一滚轮轴上，第一前滚轮和第一后滚轮之间还安装有齿轮，第一前滚轮、齿轮和第一后滚轮同轴安装于第一滚轮轴上。

4.根据权利要求2所述的多膜层连续镀膜设备，其特征在于，所述工件往复移动机构中，从动支承轮包括第二滚轮轴、第二前滚轮和第二后滚轮，第二滚轮轴的一端设于安装支架上，第二前滚轮和第二后滚轮分别通过轴承安装于第二滚轮轴上，第二前滚轮和第二后滚轮之间形成供齿条通过用的凹槽。

5.根据权利要求1所述的多膜层连续镀膜设备，其特征在于，所述表面处理室、多膜层镀膜室和出片真空室中，工件往复移动机构在同一真空室内设有多个主动驱动轮时，其中一个主动驱动轮上设有驱动电机，各主动驱动轮之间通过动力传动链条和传动链轮进行连接。

6.根据权利要求1所述的多膜层连续镀膜设备，其特征在于，所述磁导向机构包括磁铁固定架、前磁铁、后磁铁和中间磁铁，磁铁固定架设于安装支架上，磁铁固定架呈开口向下的U型状，基片架的一侧从磁铁固定架的开口处伸入磁铁固定架中，磁铁固定架开口处的上下两侧分别设有前磁铁和后磁铁，基片架的上部设有中间磁铁，前磁铁、中间磁铁和后磁铁依次平行设置，相邻的两个磁铁中，相邻的两侧极性相同。

7.根据权利要求1所述的多膜层连续镀膜设备，其特征在于，所述多膜层镀膜室内设有多组旋转靶，每组旋转靶包括并列设置的两个靶管，各靶管结构相同，靶管内设有隔水套，隔水套的外壁与靶管的内壁之间形成冷却通道，靶管的中心设有进水管，进水管的一端与冷却通道连通；隔水套呈外壁带有扇形凹槽的管状结构，扇形凹槽位于隔水套的一侧，且扇形凹槽与冷却通道连通形成一体，扇形凹槽内设有溅射组件。

8.根据权利要求7所述的多膜层连续镀膜设备，其特征在于，所述扇形凹槽的夹角大于90°；靶管的直径为250～380mm；靶管外表面与基片架上工件之间的距离大于200mm。

9.根据权利要求7所述的多膜层连续镀膜设备，其特征在于，所述旋转靶的一侧设有靶门，旋转靶安装于靶门上；靶门的下方设有门铰链，并通过门铰链与多膜层镀膜室底部的外壁连接；多膜层镀膜室上部的外壁上设有相连接的钢丝绳卷绕轮和卷绕轮驱动电机，靶门的上部设有钢丝绳，钢丝绳的一端与靶门固定连接，钢丝绳的另一端缠绕于钢丝绳卷绕轮上。