[实用新型]一种真空蒸镀设备

说明书

本实用新型涉及太阳能技术领域，具体涉及一种真空蒸镀设备。本实用新型提供的真空蒸镀设备，包括卷绕系统、固定端和移动端，所述卷绕系统固定在所述固定端上并伸出至所述第一腔体的外侧；所述移动端能够移动与所述固定端分离打开所述容纳腔，由于卷绕系统固定在所述固定端上，这样整个移动端的重量大大降低，移动时的惯性更小，因此移动更加平稳，移动过程中产生的震动更小；并且所述卷绕系统伸出至第一腔体的外侧，卷材与卷绕系统之间没有阻挡物，卷材的装载与卸载的动作实现起来更加简单；本申请提供的真空蒸镀设备同时实现了不用移动卷绕系统，并且卷材方便快速的装载与卸载，设备结构简单，能够达到快速高效生产的目的。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种真空蒸镀设备。

背景技术

由于不锈钢箔密度较高，一卷不锈钢箔的重量可达1.5吨到2.5吨。因此对于卷对卷(roll－to－roll)设备的设计结构、基材卷的装载、加工完卷材的卸下都有更高要求。

通常为了保证设备制作的精度，真空蒸镀设备的主架尽量采用固定的方式(不移动)，这样薄膜的加工精度，运动控制精度更容易实现，精度更容易把控，结构相对来说比较简单，这种方式的镀膜机主腔体通常采用门轴式开门方式或平移式开门方式，两种方式的门密封方向均为竖直方向，且腔体一面开口，卷材的装载和卸载需要将卷绕系统整体抽出。

为了便于卷材的装载与卸载，大部分企业选择了平移式开门方式的镀膜，镀膜系统与门集成一体，采用平移式开门方式的镀膜机主要是为了在镀膜机主腔体外进行卷材的装载与卸载。主腔体外的卷材装载与卸载的动作相对于腔体内实现更容易，执行动作更简单、易控制。但是，由于平移式方式的镀膜机，卷绕控制部分会随着移动门板移动。对于设备的总体结构比较复杂、设备的制作精度要求很高，卷绕控制结构比较复杂。由于门板要实现较大载荷的移动，在移动速度控制非常严格。

图1为现有技术中一种真空蒸镀设备的结构示意图，其中卷绕控制系统200设计在主腔体100内，卷绕控制系统200不可移动，当腔体门110打开时，卷绕控制系统200需要在门板打开侧进行卷材的装载与卸载，卷材的装载与卸载在设备腔体120内完成。这种设备结构简单，卷材的装载与卸载比较难实现。

图2为现有技术中另一种真空蒸镀设备的结构示意图，其中卷绕控制系统200设计成可移动方式，卷绕控制系统200可以随着主门板110平移进出主腔体120。这样可以实现在卷材从上方以吊装的方式进行薄膜的装载与卸载。装载与卸载的动作实现起来比较简单。但由于卷绕控制系统自身比较重(18吨至15吨)，移动门板的移动速度，要尽量减小惯性的产生、不能产生振动。因此，移动的速度要保证低速和匀速。

采用如图1的方案，无论采用四周哪个方向开门，卷材的装载与卸载动作比较复杂，卷材的装载于卸载非常难操作。

采用图2的方案，虽然实现了腔体外的卷材装载与卸载，但由于动作要在真空环境下实现，且移动门板携带载荷较大，门的开启与关闭移动安全性及可靠性较低。

实用新型内容

(一)本实用新型目的在于提供一种新型真空蒸镀设备，实现设备卷绕系统固定到主腔体内，不用移动卷绕系统。保证设备设计结构简单，还能简单方便的实现卷材的方便快速的装载与卸载。

(二)技术方案

为了实现上述技术问题，本实用新型提供了一种真空蒸镀设备，包括卷绕系统、固定端和移动端，所述固定端与所述移动端可开合连接，所述固定端与所述移动端处于连接状态时共同围成一个密闭的容纳腔，所述容纳腔包括位于固定端内的第一腔体和位于所述移动端内的第二腔体，所述卷绕系统固定在所述固定端上并伸出至所述第一腔体的外侧。

进一步地，所述固定端上固定有多个所述卷绕系统，至少两个所述卷绕系统伸出至所述第二腔体的外侧。