[实用新型]一种真空蒸镀设备有效
申请号: | 201821005818.2 | 申请日: | 2018-06-27 |
公开(公告)号: | CN208604204U | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 陈立国 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/24 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 孟德栋 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 卷绕系统 真空蒸镀设备 固定端 移动 卷材 本实用新型 第一腔体 移动端 卸载 装载 太阳能技术领域 伸出 高效生产 设备结构 移动过程 容纳腔 阻挡物 震动 申请 | ||
1.一种真空蒸镀设备,其特征在于:包括卷绕系统、固定端和移动端,所述固定端与所述移动端可开合连接,所述固定端与所述移动端处于连接状态时共同围成一个密闭的容纳腔,所述容纳腔包括位于固定端内的第一腔体和位于所述移动端内的第二腔体,所述卷绕系统固定在所述固定端上并伸出至所述第一腔体的外侧。
2.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述固定端上固定有多个所述卷绕系统,至少两个所述卷绕系统伸出至所述第一腔体的外侧。
3.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述第一腔体和所述第二腔体均为一端开口的腔体,所述第一腔体的开口方向倾斜向上,所述第二腔体的开口方向倾斜向下,所述第一腔体和所述第二腔体的开口端相接形成密闭的所述容纳腔。
4.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述固定端包括第一立板、底板和两个第一侧板,所述第一立板的下端与所述底板的后端相连;
两个所述第一侧板相对设于所述底板的两侧,下端分别与所述底板的相对的两个侧边相连,后端分别与所述第一立板的相对两个侧边相连。
5.根据权利要求4所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述移动端包括第二立板、顶板和两个第二侧板,所述第二立板的上端与所述顶板的前端相连;
两个所述第二侧板相对设于所述底板的两侧,上端分别与所述顶板相对的两个侧边相连,前端分别与所述第二立板相对的两个侧边相连。
6.根据权利要求5所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述顶板、底板、第一立板和第二立板均为矩形板状结构,所述第一侧板和所述第二侧板均为直角三角板状结构;
所述第一侧板的斜边朝上设置,所述第二侧板的斜边朝下设置,且所述第一侧板的斜边和所述第二侧板的斜边相互平行。
7.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述第一腔体的开口端设有第一密封法兰,所述第二腔体的开口端设有与所述第一密封法兰配合的第二密封法兰。
8.根据权利要求7所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述第一密封法兰和所述第二密封法兰之间设有至少一个密封圈;所述密封圈固定在所述第一密封法兰或第二密封法兰上。
9.根据权利要求7所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述第一密封法兰和第二密封法兰均为倾斜的矩形框结构,所述第一密封法兰和所述第二密封法兰相互平行;所述第一密封法兰与水平方向的夹角为30-60°。
10.根据权利要求1至9任一项所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述真空蒸镀设备还包括滑轨,所述移动端与所述滑轨滑动连接,并能够沿所述滑轨滑动以打开或闭合所述容纳腔。
11.根据权利要求10所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述滑轨水平设置,所述固定端固定在所述滑轨上,所述移动端在所述滑轨上沿水平方向滑动以打开或闭合所述容纳腔。
12.根据权利要求1至9任一项所述的真空蒸镀设备,其特征在于:所述移动端与所述固定端铰接,所述移动端绕铰接处转动以打开或闭合所述容纳腔。
13.根据权利要求1至9任一项所述的真空蒸镀设备,其特征在于:还包括蒸发机构和真空排气系统;
所述蒸发机构固定在所述固定端上,并位于所述第一腔体内;所述真空排气系统设置在所述固定端或所述移动端上,并与所述容纳腔连通。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司,未经北京铂阳顶荣光伏科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821005818.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种PVD涂层机
- 下一篇:一种Parylene卧式内循环真空沉积装置
- 同类专利
- 专利分类