[实用新型]一种电子显微镜真空样品台有效

专利信息
申请号: 201820986876.1 申请日: 2018-06-26
公开(公告)号: CN208767252U 公开(公告)日: 2019-04-19
发明(设计)人: 林国林;欧阳亮;洪丽川;邱晓滨 申请(专利权)人: 厦门芯极科技有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361000 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 固定件 连接杆 样品台 电子显微镜 连接座 压紧片 盛放 本实用新型 真空样品台 操作便利 同轴设置 芯片固定 简易
【说明书】:

本实用新型公开了一种电子显微镜真空样品台,包括连接座、样品连接杆和样品台;所述连接座、样品连接杆和样品台同轴设置,且样品连接杆位于中间;所述样品台包括盛放台、压紧片和固定件;所述压紧片通过固定件固定安装在盛放台上。本实用新型最有益的效果是,结构简单,操作便利通过简易的固定件就可以快速是实现芯片固定。适合推广使用。

技术领域

本实用新型涉及电子显微镜设备技术领域,尤其涉及一种电子显微镜真空样品台。

背景技术

电子显微镜作为二十世纪人类最伟大发明之一,广泛的应用于物理、生物和材料等领域的科学研究。特别是在材料科学的研究领域,利用透射电子显微镜分析样品具有独有优势:可以通过明场像和暗场像观察材料的微观组织;可通过能谱和能量损失谱获取样品的成分信息,并采集元素分布图像等;可通过衍射斑点标定材料的物相、取向关系等;可拍摄透射模式的高分辨的原子排布图像和扫描透射模式的原子排列图像 ,观察材料中原子的排布。而且可针对样品的同一位置检测以上所有信息,因此透射电子显微镜具有其他分析设备不可替代的优势。但是现有透射电子显微镜的样品台采用弹簧带动连杆机构压住观测芯片载体进行芯片固定,由于压紧力有限,且前端压紧簧片容易断裂导致观测芯片载体掉落滑出。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子显微镜真空样品台,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种电子显微镜真空样品台,包括连接座、样品连接杆和样品台;所述连接座、样品连接杆和样品台同轴设置,且样品连接杆位于中间;所述样品台包括盛放台、压紧片和固定件;所述压紧片通过固定件固定安装在盛放台上。

优选的,所述连接座上设有2~8个密封槽。

优选的,所述样品连接杆上设有O型密封圈。

优选的,所述盛放台上设有一通孔。

优选的,所述压紧片上设有一通孔;所述通孔直径为1mm~5mm;所述压紧片设有一凸环。

与现有技术相比,本实用新型的技术方案具有以下优点:结构简单,操作便利,使用时只要通过固定件来将压紧片快速固定,有效的解决了压紧簧片容易断裂导致观测芯片载体掉落滑出的问题。

附图说明

图1为本实用新型三维结构示意图。

图2为本实用新型A的局部放大视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅附图所示:一种电子显微镜真空样品台,一种电子显微镜真空样品台,包括连接座1、样品连接杆2和样品台3;所述连接座1、样品连接杆2和样品台3同轴设置,且样品连接杆2位于中间;所述样品台3包括盛放台31、压紧片32和固定件33;所述压紧片32通过固定件33固定安装在盛放台31上。

其中,连接座上1设有2~8个密封槽11;样品连接杆2上设有O型密封圈21,盛放台31上设有一通孔34。

更进一步的压紧片上设有一通孔且通孔直径为1mm~5mm;所述压紧片设有一凸环。

本实用新型实用是通过压紧片32对观测芯片载体进行压紧,由固定件33对压紧片32进行紧固在样品台上。这样装载后的芯片载体不会轻易脱落。其中固定件33可以为螺栓或其他可以快速拆卸的连接体。整个电子显微镜真空样品台设计合理操作方便适合推广使用。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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