[实用新型]一种电子显微镜真空样品台有效
| 申请号： | 201820986876.1 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN208767252U | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 林国林;欧阳亮;洪丽川;邱晓滨 | 申请（专利权）人： | 厦门芯极科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固定件 连接杆 样品台 电子显微镜 连接座 压紧片 盛放 本实用新型 真空样品台 操作便利 同轴设置 芯片固定 简易 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子显微镜真空样品台，其特征在于：包括连接座、样品连接杆和样品台；所述连接座、样品连接杆和样品台同轴设置，且样品连接杆位于中间；所述样品台包括盛放台、压紧片和固定件；所述压紧片通过固定件固定安装在盛放台上；所述连接座上设有2～8个密封槽；所述压紧片上设有一通孔；所述通孔直径为1mm～5mm；所述压紧片设有一凸环。
2.根据权利要求1所述的一种电子显微镜真空样品台，其特征在于所述样品连接杆上设有O型密封圈。
3.根据权利要求1所述的一种电子显微镜真空样品台，其特征在于所述盛放台上设有一通孔。
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