[实用新型]一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置

说明书

本实用新型公开了一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，包括装置主体，所述装置主体的外表面上方设置有显示屏，所述装置主体的外表面下方分别设置有操作键和开关，所述装置主体的一侧设置有进气口，所述装置主体的另一侧设置有出气口，该种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，当需要对硅烷气体进行分析检测时，可以通过吸气泵将硅烷气体由进气口吸入，电机将电能转化为机械能使驱动轴转动，带动搅拌架进行高速旋转，对吸气泵吸入的硅烷气体进行搅拌，此时通过操作键打开分析器和检测器，分析器和检测器采用气相色谱法分析其内部的杂质，并通过电信号传导至显示屏上，供使用者观察。

技术领域

本实用新型涉及硅烷中杂质的质量分析技术领域，具体为一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置。

背景技术

目前，硅烷是一种电子气体，同其他硅源化合物相比，硅烷因其独具的特性而被优先使用，广泛应用于电子、信息、能源、材料等领域，是许多未来新兴产业所必不可少的一种气体，硅烷在使用的过程中，其纯度和质量直接影响了后续产品的质量。

现有的硅烷杂质分析装置，首先通过吸气泵将硅烷气体取样吸入，然后通过分析器和检测器对其质量进行分析，但吸气泵取样吸入的气体不够均匀，使分析器和检测器无法完全检测出硅烷气体内的杂质，且分析装置在使用时会造成晃动，会影响分析器和检测器的检测结果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，以解决上述背景技术中提出吸气泵吸入气体不够均匀和分析装置晃动影响检测结果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，包括装置主体，所述装置主体的外表面上方设置有显示屏，所述装置主体的外表面下方分别设置有操作键和开关，所述装置主体的一侧设置有进气口，所述装置主体的另一侧设置有出气口，所述装置主体的底部设置有支撑板，所述支撑板的底部连接有弹簧，所述弹簧的内部套接有限位柱，所述限位柱的底端连接有底板，所述底板的底部固定有支脚，所述装置主体的内部一侧设置有抽气泵，且所述抽气泵与进气口相连通，所述装置主体的内部下方设置有电机，所述电机的输出端连接有驱动轴，所述驱动轴的顶端连接有搅拌架。

优选地，所述搅拌架呈“山字形”，且其焊接于驱动轴的顶端。

优选地，所述限位柱设置有多个，且多个限位柱呈“阵列状”排布于底板的顶部。

优选地，所述装置主体的内部一侧分别设置有分析器和检测器，且所述分析器位于检测器的下方。

优选地，所述弹簧的高度大于限位柱的高度，且所述弹簧的顶部与支撑板相连接。

优选地，所述支脚设置有多个，且其底部外侧向中心凹陷。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，设置有搅拌架，当需要对硅烷气体进行分析检测时，可以通过吸气泵将硅烷气体由进气口吸入，然后启动电机，电机将电能转化为机械能使驱动轴转动，驱动轴带动搅拌架进行高速旋转，对吸气泵吸入的硅烷气体进行搅拌，使装置主体内部的硅烷气体分布均匀，此时通过操作键打开分析器和检测器，分析器和检测器采用气相色谱法分析其内部的杂质，并通过电信号传导至显示屏上，供使用者观察，当装置主体晃动时，弹簧可以对装置主体的晃动进行削弱，使装置主体在工作的工程中相对稳定，避免检测结果的失误，解决了吸气泵吸入气体不够均匀和分析装置晃动影响检测结果的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型装置主体剖面结构示意图；

图3为本实用新型支脚局部结构示意图。