[实用新型]一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置

权利要求书

1.一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，包括装置主体(1)，其特征在于：所述装置主体(1)的外表面上方设置有显示屏(2)，所述装置主体(1)的外表面下方分别设置有操作键(9)和开关(10)，所述装置主体(1)的一侧设置有进气口(3)，所述装置主体(1)的另一侧设置有出气口(11)，所述装置主体(1)的底部设置有支撑板(4)，所述支撑板(4)的底部连接有弹簧(5)，所述弹簧(5)的内部套接有限位柱(6)，所述限位柱(6)的底端连接有底板(8)，所述底板(8)的底部固定有支脚(7)，所述装置主体(1)的内部一侧设置有抽气泵(12)，且所述抽气泵(12)与进气口(3)相连通，所述装置主体(1)的内部下方设置有电机(13)，所述电机(13)的输出端连接有驱动轴(14)，所述驱动轴(14)的顶端连接有搅拌架(15)。

2.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，其特征在于：所述搅拌架(15)呈“山字形”，且其焊接于驱动轴(14)的顶端。

3.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，其特征在于：所述限位柱(6)设置有多个，且多个限位柱(6)呈“阵列状”排布于底板(8)的顶部。

4.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，其特征在于：所述装置主体(1)的内部一侧分别设置有分析器(16)和检测器(17)，且所述分析器(16)位于检测器(17)的下方。

5.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，其特征在于：所述弹簧(5)的高度大于限位柱(6)的高度，且所述弹簧(5)的顶部与支撑板(4)相连接。

6.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，其特征在于：所述支脚(7)设置有多个，且其底部外侧向中心凹陷。