[实用新型]一种高纯气体纯化装置

说明书

本实用新型涉及气体纯化领域。目的是提供一种高纯气体纯化装置。技术方案是：包括加热釜、反应釜、热交换器、程控阀组A、程控阀组B、原料气接口、恒温水槽、控制单元；原料气接口依次连接进气阀、加热釜、反应釜、热交换器、程控阀组A，程控阀组A和程控阀组B之间连接有脱氧釜组，热交换器放置在恒温水槽内；程控阀组A还连接有再生气接口，程控阀组B还分别连接有真空泵和过滤器，过滤器出气口连接有换向阀，过滤器和换向阀之间连接有纯度检测仪，换向阀与加热釜连接且连接有出气口；进气阀、加热釜、恒温水槽、程控阀组A、程控阀组B、脱氧釜组、真空泵、纯度检测仪、换向阀与控制单元电性连接。运用范围广、简单、高效、经济、环保。

技术领域

本实用新型涉及气体纯化领域，具体涉及一种高纯气体纯化装置。

背景技术

现如今，半导体、电子、航空等领域对气体的纯度要求很高。而工业制备的气体中通常含有少量的一些反应物、中间产物以及水和空气中的一下杂质，不能满足使用要求。

现有的高纯气体纯化装置，主要是对原料气进行加热然后催化反应，冷却之后再使用脱氧剂对气体脱氧，最后通过过滤器后完成纯化。整个装置需要加额外的控制系统，控制装置中的温度、压力、流量，组成复杂且成本高昂。另外虽然设置有交替的两组脱氧单元，但是在一组已经失效另一组还未完全再生或者出现故障的情况下，不能连续的纯化气体。同时没有对整个装置进行预处理的组件，致使纯化开始的时候装置内残留的气体污染原料气，不仅造成原料气的浪费，还使装置正常工作的等待时间太长。再者，纯化后的气体一般通过抽检的方式检验纯度，使纯化气体的纯度的一致性得不到保证。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种高效、可靠、质量稳定的高纯气体纯化装置。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：包括加热釜、反应釜、热交换器、程控阀组A、程控阀组B，还包括原料气接口、恒温水槽、控制单元；所述原料气接口依次连接进气阀、加热釜、反应釜、热交换器、程控阀组A，所述程控阀组A和程控阀组B之间连接有脱氧釜A、脱氧釜B、脱氧釜C，所述热交换器放置在恒温水槽内；所述程控阀组A还连接有再生气接口，所述程控阀组B还分别连接有真空泵和过滤器，所述过滤器出气口连接有换向阀，所述过滤器和换向阀之间连接有纯度检测仪，所述换向阀与加热釜连接，所述换向阀还连接有出气口；所述进气阀、加热釜、恒温水槽、程控阀组A、程控阀组B、脱氧釜A、脱氧釜B、脱氧釜C、真空泵、纯度检测仪、换向阀与控制单元电性连接。

优选的，所述加热釜表面设置有隔热层，所述热交换器为管带式热交换器。

优选的，所述过滤器由微孔过滤膜片和分子筛颗粒相间填充。

本实用新型的有益技术效果是：通过设置纯度检测仪，实时监测气体纯化后的纯度，保证纯度的一致性。同时设置有真空泵，通过加热釜和真空泵能快速的对装置进行预处理，以防止残留气体对原料气的污染，节约原料气、缩短正常工作等待时间；还设置有三组脱氧釜，能够保证纯化的连续进行且提高纯化效率。再者，加热釜和反应釜可根据原料气的种类设置相应的加热温度和催化剂，可用于纯化大部分高纯气体，使用范围广。另外通过控制单元，智能控制各个电器设备，使装置实现自动化控制，节约人力成本。整个装置运用范围广、简单、高效、经济、环保。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的过滤器剖视图。

具体实施方式

下面结合附图1、附图2进一步阐述本实用新型。

一种高纯气体纯化装置，包括加热釜1、反应釜2、热交换器3、程控阀组A4、程控阀组B8、原料气接口13、恒温水槽11、控制单元；所述原料气接口13依次连接进气阀16、加热釜1、反应釜2、热交换器3、程控阀组A4，所述程控阀组A4和程控阀组B8之间连接有脱氧釜A5、脱氧釜B6、脱氧釜C7，所述热交换器3放置在恒温水槽11内。